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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-7025355 (2009-12-04) |
공개번호 | 10-2010-0019989 (2010-02-19) |
국제출원번호 | PCT/JP2008/060231 (2008-06-03) |
국제공개번호 | WO2008149864 (2008-12-11) |
번역문제출일자 | 2009-12-04 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020097025355 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 EUVL용 반사형 마스크 등에 사용되는 유리 기판의 오목 형상 결점을 감소시키는 연마 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.본 발명은 유리 기판과 연마 패드의 패드 표면 사이에 연마 슬러리를 공급하여 유리 기판의 주 표면을 연마하는 유리 기판의 연마 방법이며, 상기 연마 패드의 연마 하중이 1 내지 60g/cm2인 것을 특징으로 하는 유리 기판의 연마 방법에 관한 것이다.연마 패드는 패드 표면이 드레싱 가공되어 있는 것이 바람직하다.
유리 기판과 연마 패드의 패드 표면 사이에 연마 슬러리를 공급하여 유리 기판의 주 표면을 연마하는 유리 기판의 연마 방법이며, 상기 연마 패드의 연마 하중이 1 내지 60g/cm2인 것을 특징으로 하는 유리 기판의 연마 방법.
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