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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2010-0031472 (2010-04-06) |
| 공개번호 | 10-2011-0112071 (2011-10-12) |
| 등록번호 | 10-1104632-0000 (2012-01-04) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020100031472 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2010-04-06) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 기화공간 및 기상 전구체 배출구를 가지는 기화기 케이스, 기화공간에 전구체 배출구 측으로 액상 전구체를 분무하는 분무유닛, 분무되는 액상 전구체와 충돌되도록 다른 방향에서 캐리어가스를 분사하여 분무되는 액상 전구체를 재차 무화시키는 분사유닛으로 구성된 기화기 및 이 기화기를 포함하는 박막증착시스템을 제공한다.
액상소스를 기화시키기 위한 기화공간과 기화된 액상소스가 배출되는 배출구를 가지는 기화기 케이스와;상기 기화공간에 액상소스를 분무하는 액상소스 분무유닛과;상기 기화공간에 상기 액상소스 분무유닛으로부터 분무되는 액상소스와 충돌되도록 다른 방향에서 캐리어가스를 분사하여 상기 분무되는 액상소스를 재차 무화시키는 캐리어가스 분사유닛을 포함하고,상기 액상소스 분무유닛은, 액상소스가 분사되는 내관 및 캐리어가스가 분사되는 외관으로 구성된 이중관을 포함하는 기화기.
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