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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0069483 (2010-07-19) |
공개번호 | 10-2012-0009572 (2012-02-02) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100069483 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
세라믹 히터는 상부면에 기판이 놓여져 지지되는 플레이트와, 플레이트에 내장되어 기판의 가열을 위한 열을 발생하고 수평면 상에 소정의 패턴으로 배치되되 상하 방향으로 사인(sine)파 형상을 가지며, 발열체는 플레이트에 대해 국부적으로 사인파 형상의 피치가 다르게 형성된다. 따라서, 열 손실에 대응하여 발열 밀도를 다르게 형성함으로써 발열면의 온도 균일성을 향상시킬 수 있다.
그 상부면에 기판이 놓여져 지지되는 플레이트; 및상기 플레이트에 내장되어 상기 기판의 가열을 위한 열을 발생하고, 수평면 상에 소정의 패턴으로 배치되되 상하 방향으로 사인(sine)파 형상을 가지는 발열체를 포함하며,상기 발열체는 상기 플레이트에 대해 국부적으로 상기 사인파 형상의 피치가 다르게 형성된 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.
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