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연합인증

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세라믹 히터 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H05B-003/18
  • H05B-003/20
출원번호 10-2010-0069483 (2010-07-19)
공개번호 10-2012-0009572 (2012-02-02)
DOI http://doi.org/10.8080/1020100069483
발명자 / 주소
  • 최진식 / 서울특별시 광진구 아차산로**길 **, 우성아파트 ***동 ***호 (자양동)
  • 이범술 / 서울특별시 마포구 월드컵북로 ***, 성산시영아파트 **동 ****호 (성산동)
출원인 / 주소
  • 주식회사 코미코 / 경기도 안성시 신모산동 **
대리인 / 주소
  • 박영우
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

세라믹 히터는 상부면에 기판이 놓여져 지지되는 플레이트와, 플레이트에 내장되어 기판의 가열을 위한 열을 발생하고 수평면 상에 소정의 패턴으로 배치되되 상하 방향으로 사인(sine)파 형상을 가지며, 발열체는 플레이트에 대해 국부적으로 사인파 형상의 피치가 다르게 형성된다. 따라서, 열 손실에 대응하여 발열 밀도를 다르게 형성함으로써 발열면의 온도 균일성을 향상시킬 수 있다.

대표청구항

그 상부면에 기판이 놓여져 지지되는 플레이트; 및상기 플레이트에 내장되어 상기 기판의 가열을 위한 열을 발생하고, 수평면 상에 소정의 패턴으로 배치되되 상하 방향으로 사인(sine)파 형상을 가지는 발열체를 포함하며,상기 발열체는 상기 플레이트에 대해 국부적으로 상기 사인파 형상의 피치가 다르게 형성된 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 히터, 웨이퍼 가열장치 및 이 히터의 제조방법 | 나카무라 츠네히코
  2. [일본] CERAMIC HEATER AND ELECTROSTATIC CHUCK WITH BUILT-IN CERAMIC HEATER | TAKAGI SANKAKU, TSUJIMURA MASAYUKI

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. [한국] 파형열선 형성모듈과 이를 이용한 부위별 열량 조절이 가능한 파형 열선 제조 장치 및 방법 | 장계원, 박현, 이규옥
  2. [한국] 반도체 제조장치용 히터의 제조방법 및 히터 손상부위 처리방법 | 강승동, 최원철
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