초록 ▼

(과제) 세라믹 히터의 면내 온도를 균일화할 수 있는 세라믹 히터 및 정전척을 제공하는 것.(해결 수단) 세라믹 히터(9)는 평면시로 세라믹 기판(19)을 복수의 가열 존(23)마다 독립하여 가열할 수 있도록 각 가열 존(23)마다 배치된 각 존 발열체(25)를 구비한다. 구멍부 영역(A)을 가지는 가열 존(23)에서는 존 발열체(25)는 선 형상의 발열 패턴(61)이 병렬로 배치된 병렬 부분(63a)과, 구멍부 영역(A)을 향하여 연장되는 발열 패턴(61)이 구멍부 영역(A)과 겹치지 않도록 인접하여 병렬 배치된 다른 발열 패턴(

(과제) 세라믹 히터의 면내 온도를 균일화할 수 있는 세라믹 히터 및 정전척을 제공하는 것.(해결 수단) 세라믹 히터(9)는 평면시로 세라믹 기판(19)을 복수의 가열 존(23)마다 독립하여 가열할 수 있도록 각 가열 존(23)마다 배치된 각 존 발열체(25)를 구비한다. 구멍부 영역(A)을 가지는 가열 존(23)에서는 존 발열체(25)는 선 형상의 발열 패턴(61)이 병렬로 배치된 병렬 부분(63a)과, 구멍부 영역(A)을 향하여 연장되는 발열 패턴(61)이 구멍부 영역(A)과 겹치지 않도록 인접하여 병렬 배치된 다른 발열 패턴(61)에 접속하여 되돌려지는 되돌림부(65a)를 가진다.

대표청구항 ▼

세라믹 기판 또는 세라믹 기판에 베이스 기판을 적층한 적층체를 가지며,상기 세라믹 기판의 내부에 발열체를 구비함과 아울러,상기 세라믹 기판에 구멍부를 구비한 판 형상의 세라믹 히터, 또는,상기 적층체 중, 상기 세라믹 기판에 구멍부를 구비한 또는 상기 베이스 기판에 관통 구멍을 구비한 판 형상의 세라믹 히터에 있어서,상기 세라믹 히터를 두께 방향에서 본 경우에,상기 발열체는 상기 세라믹 기판을 복수의 가열 존마다 독립하여 가열할 수 있도록 각 가열 존마다 배치된 각 존 발열체로 구성되고,또한, 상기 가열 존 내에 상기 구멍부 또는

세라믹 기판 또는 세라믹 기판에 베이스 기판을 적층한 적층체를 가지며,상기 세라믹 기판의 내부에 발열체를 구비함과 아울러,상기 세라믹 기판에 구멍부를 구비한 판 형상의 세라믹 히터, 또는,상기 적층체 중, 상기 세라믹 기판에 구멍부를 구비한 또는 상기 베이스 기판에 관통 구멍을 구비한 판 형상의 세라믹 히터에 있어서,상기 세라믹 히터를 두께 방향에서 본 경우에,상기 발열체는 상기 세라믹 기판을 복수의 가열 존마다 독립하여 가열할 수 있도록 각 가열 존마다 배치된 각 존 발열체로 구성되고,또한, 상기 가열 존 내에 상기 구멍부 또는 상기 관통 구멍에 대응하는 구멍부 영역이 배치되어 있으며,상기 존 발열체는 선 형상의 발열 패턴이 병렬로 배치된 병렬 부분과, 상기 구멍부 영역으로 향하여 연장되는 상기 발열 패턴이 상기 구멍부 영역과 겹치지 않도록 인접하여 병렬 배치된 다른 발열 패턴에 접속하여 되돌려지는 되돌림부를 가지는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터.