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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-0050405 (2011-05-27) |
공개번호 | 10-2012-0131913 (2012-12-05) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110050405 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-05-27) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 내부에 경사진 가스 통로가 마련된 유전체 플레이트; 상기 유전체 플레이트의 내부 또는 일면에 설치된 전극; 및 상기 유전체 플레이트에 접합된 베이스 부재;를 포함하는 정전척을 개시한다.
피흡착물을 정전기력을 이용하여 흡착하기 위한 정전척에 있어서,내부에 경사진 가스 통로가 마련된 유전체 플레이트;상기 유전체 플레이트의 내부 또는 일면에 설치된 전극; 및상기 유전체 플레이트에 접합된 베이스 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
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