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연합인증

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이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

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온도제어구조가 개선된 정전척 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/687
  • H01L-021/683
  • B23Q-003/15
  • H02N-013/00
출원번호 10-2011-0050405 (2011-05-27)
공개번호 10-2012-0131913 (2012-12-05)
DOI http://doi.org/10.8080/1020110050405
발명자 / 주소
  • 안호갑 / 경기도 수원시 영통구 동탄지성로***번길 **, 벽산e빌리지아파트 ***동 ***호 (망포동)
출원인 / 주소
  • 이지스코 주식회사 / 경기 화성시 정남면 망월리 ***-*
대리인 / 주소
  • 특허법인필앤온지
심사청구여부 있음 (2011-05-27)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

본 발명은 내부에 경사진 가스 통로가 마련된 유전체 플레이트; 상기 유전체 플레이트의 내부 또는 일면에 설치된 전극; 및 상기 유전체 플레이트에 접합된 베이스 부재;를 포함하는 정전척을 개시한다.

대표청구항

피흡착물을 정전기력을 이용하여 흡착하기 위한 정전척에 있어서,내부에 경사진 가스 통로가 마련된 유전체 플레이트;상기 유전체 플레이트의 내부 또는 일면에 설치된 전극; 및상기 유전체 플레이트에 접합된 베이스 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 정전기 척 장치 | 사미르 투룰, 그리마드 데니스
  2. [한국] 처리 챔버 내에서 기판을 지지, 위치설정, 및 회전시키기 위한 장치 및 방법 | 쾰멜, 블라크, 러너, 알렉산더, 엔., 라니시, 죠셉, 엠., 산감, 케달나쓰, 소라비, 쿠르쉬드

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 정전척 및 반도체처리장치의 제어장치 | 노임준, 임경철, 이선훈, 유병철, 신광훈
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