$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

정전척 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/687
  • H01L-051/56
  • G02F-001/13
출원번호 10-2011-0057210 (2011-06-14)
공개번호 10-2012-0137986 (2012-12-24)
DOI http://doi.org/10.8080/1020110057210
발명자 / 주소
  • 도성원 / 경기도 용인시 기흥구 삼성*로 ** (농서동)
출원인 / 주소
  • 삼성디스플레이 주식회사 / 경기도 용인시 기흥구 삼성*로 ** (농서동)
대리인 / 주소
  • 홍원진
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

본 발명은 진공 챔버 내에서 정전기력으로 기판을 흡착하여 지지하는 정전척에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정전척용 전극의 상부가 트렌치(trench)부와 엠보(emboss)부로 형성되어 있는 정전척에 관한 것이다.본 발명에 따른 정전척은 베이스 기재; 상기 베이스 기재 상에 형성된 절연층; 상기 절연층 상에 형성된 도전층; 상기 도전층 상에 형성된 유전층; 및 상기 베이스 기재, 절연층, 도전층 및 유전층을 관통하여 설치되어 있는 냉각 가스 라인을 포함한다.

대표청구항

베이스 기재;상기 베이스 기재 상에 형성된 절연층;상기 절연층 상에 형성된 도전층;상기 도전층 상에 형성된 유전층; 및상기 베이스 기재, 절연층, 도전층 및 유전층을 관통하여 설치되어 있는 냉각 가스 라인을 포함하며,상기 도전층은 전원장치와 연결되어 있고,상기 유전층은 엠보(emboss)부와 트렌치(trench)부로 구분되며,상기 트렌치부는 유전층 외곽부에 배치되며 하나 이상의 채널이 형성되어 있고, 상기 엠보부는 유전층 내측부에 형성되어 있고 복수개의 돌기를 가지는 것을 특징으로 하는 정전척.

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 이중 온도 영역을 갖는 정전기 척을 구비한 기판 지지대 | 매튜시킨, 알렉산더, 쿠사우, 데니즈, 파나고플로스, 테오도로스, 홀랜드, 존
    상세보기
  2. [미국] Substrate supporting table,method for producing same, and processing system | Ushioda, Joichi, Sato, Koichi, Satoyoshi, Tsutomu, Ito, Hiromichi
    상세보기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로