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육방정계 질화붕소층을 포함하는 그래핀 복합필름 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • C01B-031/02
  • C01B-021/064
  • C23C-016/26
  • C23C-016/34
출원번호 10-2011-0096187 (2011-09-23)
공개번호 10-2013-0032536 (2013-04-02)
등록번호 10-1294362-0000 (2013-07-31)
DOI http://doi.org/10.8080/1020110096187
발명자 / 주소
  • 양우석 / 경기도 성남시 분당구 미금로 ***, 유천화인아파트 ***동 ***호 (금곡동, 청솔마을)
  • 김형근 / 경기도 화성시 팔탄면 고주골길 **
출원인 / 주소
  • 전자부품연구원 / 경기도 성남시 분당구 새나리로 ** (야탑동)
대리인 / 주소
  • 남충우; 노철호
심사청구여부 있음 (2011-09-23)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

육방정계 질화붕소층을 포함하는 그래핀 복합필름 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 복합필름 제조방법은 무촉매 기판 상부에 육방정계 질화붕소층을 형성하는 제1 단계; 상기 육방정계 질화붕소층 상부에 금속 촉매층을 형성하는 제2 단계; 상기 금속 촉매층에 탄소를 공급하여 상기 금속 촉매층 하부에는 적어도 1층 이상의 하부그래핀층을 형성하고, 상기 금속 촉매층 상부에는 적어도 1층 이상의 상부그래핀층을 형성하는 제3 단계; 및 상기 금속 촉매층 및 상기 상부그래핀층을 제거하는 제4 단계를 포함한다.

대표청구항

무촉매 기판 상부에 육방정계 질화붕소층(H-BN, Hexagonal Boron Nitride)을 형성하는 제1 단계;상기 육방정계 질화붕소층 상부에 금속 촉매층을 형성하는 제2 단계;상기 금속 촉매층에 탄소를 공급하여 상기 금속 촉매층 하부에는 적어도 1층 이상의 하부그래핀층을 형성하고, 상기 금속 촉매층 상부에는 적어도 1층 이상의 상부그래핀층을 형성하는 제3 단계; 및상기 금속 촉매층 및 상기 상부그래핀층을 제거하는 제4 단계를 포함하는 그래핀 복합필름 제조방법.

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 2차원 시트 물질을 이용한 전자 소자 및 그 제조 방법 | 우윤성, 서순애, 김동철, 정현종
  2. [미국] Graphene and Hexagonal Boron Nitride Devices | Sung, Chien-Min

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. [한국] 육방정계 질화붕소 내부에 형성된 그래핀 양자점 배열 및 그 제조방법, 그를 포함하는 전자 소자 | 신현석, 김광우
  2. [한국] 사파이어 기판을 이용한 다층 육방정계질화붕소 나노복합체 제조방법 | 신현석, 장아랑
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