$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

식각용액 및 이를 이용한 절연막의 패턴 형성방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • C09K-013/08
  • C09K-013/04
  • H01L-021/027
출원번호 10-2011-0141002 (2011-12-23)
공개번호 10-2013-0073251 (2013-07-03)
등록번호 10-1320421-0000 (2013-10-15)
DOI http://doi.org/10.8080/1020110141002
발명자 / 주소
  • 정찬진 / 충청남도 공주시 버드나무*길 **, 금강빌라 *동 ***호 (옥룡동)
  • 임정훈 / 대전광역시 유성구 구즉로 **, ***동 ****호 (송강동, 송강그린아파트)
출원인 / 주소
  • 솔브레인 주식회사 / 경기도 성남시 분당구 판교로***번길 ** (삼평동)
대리인 / 주소
  • 박창희; 김종관; 권오식
심사청구여부 있음 (2011-12-23)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 등록

초록

본 발명은 식각용액에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 식각용액은 전체 조성물 총 중량에 대하여 불화암모늄(NH4F) 1 내지 20 중량%, 인산(H3PO4) 0.1 내지 10 중량%, 불화수소암모늄(NH4HF2) 0.1 내지 5 중량% 및 나머지는 탈이온수를 포함할 수 있다.

대표청구항

실리콘 산화막 및 실리콘 질화막을 동시에 식각하기 위한 식각용액으로,전체 조성물 총 중량에 대하여 불화암모늄(NH4F) 5 내지 15 중량%, 인산(H3PO4) 0.1 내지 10 중량%, 불화수소암모늄(NH4HF2) 0.1 내지 5 중량%, 염산 0.01 내지 0.5 중량% 및 나머지는 탈이온수를 포함하는 식각용액.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 실리콘산화막 및 실리콘질화막 식각용 식각액 조성물 | 정찬진, 백귀종, 박성환, 임정훈, 김성배, 김현탁, 주상진
    상세보기
  2. [한국] 식각액 조성물 및 이를 이용한 어레이 기판의 제조방법 | 김봉균, 정종현, 이병진, 홍선영, 박홍식, 김시열, 이기범, 조삼영, 김상우, 신현철, 서원국
    상세보기

관련 콘텐츠

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로