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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0113312 (2019-09-16) | |
공개번호 | 10-2021-0032071 (2021-03-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190113312 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명은 액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템 으로써,종래 반도체 가공에 사용하기 위하여 세계 각국에서 생산되어 반입되는 불화수소는 농도와 순도가 각기 편차가 있어 사용불가 하다본 발명은 상기와 같이 문제성이 있는 불화수소를 복잡한 정재시설에서 탈피하여 액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템을 도출시켜 고순도 불화수소를 생산하는 시스템 인 것이다본 발명은고령토를 정제 한 미네랄 및
본 발명은 액체 불화수소를 유체에 침강시켜 불화수소에 내포된 미량의 불순물을 흡착제거 하여 고순도 불화수소로 정제하는 시스템 으로써,고령토를 정재 한 미네랄 및 카오린 산화철 분말을 혼재하여 식용유부피 대비30% 이하를 혼재한 불순물 흡착유(4)를 제조하여 시스템의 배관(3 )을 경유시켜 정제 용기(2 )내에 200mm 이상 두께 층으로 충전하고,정제 용기(2 )에 충전된 불순물 흡착유( 4)의 상부층에서 액상 불화수소(1)를 주입하고 주입된 액상 불화수소(1)를 비중에 의하여 불순물 흡착유( 4) 속으로 침강시켜 불순물 흡착유(
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