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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-7011599 (2011-05-20) |
공개번호 | 10-2011-0089144 (2011-08-04) |
국제출원번호 | PCT/US2009/060882 (2009-10-15) |
국제공개번호 | WO2010048032 (2010-04-29) |
번역문제출일자 | 2011-05-20 |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020117011599 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 포기(등록료 미납) |
법적상태 | 포기 |
연마 패드 컨디셔닝 디스크를 교체를 위한 장치가 화학적 기계적 연마 시스템에서 제공된다. 상기 장치는 패드 컨디셔닝 어셈블리로부터 사용된 컨디셔닝 디스크들을 언로딩하고 상기 패드 컨디셔닝 어셈블리 상으로 미사용 컨디셔닝 디스크들을 로딩하기 위한 디스크 로드/언로드 스테이션; 사용된 그리고 미사용 컨디셔닝 디스크들 모두를 저장하기 위한 하나 이상의 디스크 저장 스테이션들; 및 상기 디스크 로드/언로드 스테이션과 상기 하나 이상의 디스크 저장 스테이션들 사이에 사용된 그리고 미사용 컨디셔닝 디스크들 모두를 이송하기 위해 충분한 운동의
화학 기계적 연마 시스템에서 연마 패드 컨디셔닝 디스크를 교체하기 위한 장치로서, 패드 컨디셔닝 어셈블리로부터 사용된 컨디셔닝 디스크들을 언로딩하고 상기 패드 컨디셔닝 어셈블리 상으로 미사용 컨디셔닝 디스크들을 로딩하기 위한 디스크 로드/언로드 스테이션; 사용된 그리고 미사용 컨디셔닝 디스크들 모두를 저장하기 위한 하나 이상의 디스크 저장 스테이션들; 및 상기 디스크 로드/언로드 스테이션과 상기 하나 이상의 디스크 저장 스테이션들 사이에 사용된 그리고 미사용 컨디셔닝 디스크들 모두를 이송하기 위해 충분한 운동의 범위를 갖는 중심 로
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