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연합인증

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패드 컨디셔닝 디스크, 패드 컨디셔너, 패드 컨디셔닝 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/304
출원번호 10-2012-0080179 (2012-07-23)
등록번호 10-1236163-0000 (2013-02-18)
DOI http://doi.org/10.8080/1020120080179
발명자 / 주소
  • 박지호 / 경기도 오산시 양산동 *** 늘푸른오스카빌 ***-****
  • 이승훈 / 경기도 화성시 반송동 한화우림아파트 ***-****
  • 최원석 / 경기도 성남시 분당구 삼평동 봇들마을 ***-***
  • 김태훈 / 경기도 오산시 오산동 운암주공*단지 ***-****
  • 김태성 / 서울특별시 강남구 청담동 **-**번지 ***호
  • 김호중 / 서울특별시 강남구 수서동 한아름아파트 ***동 ****호
  • 김민구 / 경기도 수원시 장안구 율전동 ***-** ***호
출원인 / 주소
  • 주식회사 제우스 / 경기도 오산시 부산동 ***-*
대리인 / 주소
  • 특허법인아주양헌
심사청구여부 있음 (2012-07-23)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

패드 컨디셔닝 디스크, 패드 컨디셔너, 패드 컨디셔닝 방법에 관한 발명이 개시된다. 개시된 패드 컨디셔닝 디스크는 판부; 및 연마 패드의 표면을 컨디셔닝하도록 판부에 돌출 형성되는 연마부; 를 포함하고, 판부에는, 컨디셔닝할 때 발생되는 잔류물이 통과되도록 관통부가 관통 형성되고, 연마부에는, 관통부와 연통되도록 연통부가 관통 형성되는 것을 특징으로 한다.

대표청구항

판부; 및연마 패드의 표면을 컨디셔닝하도록 상기 판부에 돌출 형성되는 연마부; 를 포함하고,상기 연마부에 관통 형성되어 상기 컨디셔닝할 때 발생되는 잔류물의 이동 경로를 형성하는 연통부; 및상기 연통부와 연통되도록 상기 판부에 관통 형성되어 상기 잔류물이 상기 판부와 상기 연마 패드 사이에서 흡입력에 의해 흡입 배출되는 관통부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔닝 디스크.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 연마 패드 컨디셔닝 디스크 및 이를 포함한 연마 패드컨디셔너 | 김현우
    상세보기
  2. [한국] 연마패드용 컨디셔닝 디스크 | 윤경수
    상세보기
  3. [한국] 연마패드용 컨디셔닝 디스크 | 윤경수
    상세보기

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 패드 컨디셔너 | 이승훈, 박지호, 모성원, 최문섭, 장항
    상세보기

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