[특허]패드 컨디셔너 자동 디스크 교체

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패드 컨디셔너 자동 디스크 교체 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/304
출원번호	10-2011-7011599 (2011-05-20)
공개번호	10-2011-0089144 (2011-08-04)
국제출원번호	PCT/US2009/060882 (2009-10-15)
국제공개번호	WO2010048032 (2010-04-29)
번역문제출일자	2011-05-20
DOI	http://doi.org/10.8080/1020117011599
발명자 / 주소	첸,헝치 / 미국 *** 캘리포니아 써니베일 웨딩톤 애브뉴 * 주니가, 스티븐 엠. / 미국 *** 캘리포니아 소 로스 로블스 로드 * 올가도, 도날드 제이.케이. / 미국 *** 캘리포니아 팔로 알토 멜빌 애브뉴 *
출원인 / 주소	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
대리인 / 주소	남상선
심사진행상태	포기(등록료 미납)
법적상태	포기

초록 ▼

연마 패드 컨디셔닝 디스크를 교체를 위한 장치가 화학적 기계적 연마 시스템에서 제공된다. 상기 장치는 패드 컨디셔닝 어셈블리로부터 사용된 컨디셔닝 디스크들을 언로딩하고 상기 패드 컨디셔닝 어셈블리 상으로 미사용 컨디셔닝 디스크들을 로딩하기 위한 디스크 로드/언로드 스테이션; 사용된 그리고 미사용 컨디셔닝 디스크들 모두를 저장하기 위한 하나 이상의 디스크 저장 스테이션들; 및 상기 디스크 로드/언로드 스테이션과 상기 하나 이상의 디스크 저장 스테이션들 사이에 사용된 그리고 미사용 컨디셔닝 디스크들 모두를 이송하기 위해 충분한 운동의

대표청구항 ▼

화학 기계적 연마 시스템에서 연마 패드 컨디셔닝 디스크를 교체하기 위한 장치로서, 패드 컨디셔닝 어셈블리로부터 사용된 컨디셔닝 디스크들을 언로딩하고 상기 패드 컨디셔닝 어셈블리 상으로 미사용 컨디셔닝 디스크들을 로딩하기 위한 디스크 로드/언로드 스테이션; 사용된 그리고 미사용 컨디셔닝 디스크들 모두를 저장하기 위한 하나 이상의 디스크 저장 스테이션들; 및 상기 디스크 로드/언로드 스테이션과 상기 하나 이상의 디스크 저장 스테이션들 사이에 사용된 그리고 미사용 컨디셔닝 디스크들 모두를 이송하기 위해 충분한 운동의 범위를 갖는 중심 로

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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