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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0012995 (2012-02-08) |
등록번호 | 10-1207567-0000 (2012-11-27) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120012995 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-02-08) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 발열체를 삽입 홈에 쉽게 삽입하여 고정할 수 있고 높은 열효율을 발휘할 수 있는 반도체 제조용 석영히터에 관한 것이다.본 발명의 반도체 제조용 석영히터는 석영원판(圓板)으로 이루어지면서 일측면에 삽입 홈이 형성된 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트에 형성된 삽입 홈 내부에 설치되는 발열체; 상기 베이스 플레이트와 동일한 석영원판으로 이루어지면서 상기 삽입 홈에 진공을 형성하면서 베이스 플레이트와 접합되는 커버 플레이트를 포함하고,상기 삽입 홈은 하부 쪽으로 가면서 점차적으로 넓어지는 형상으로 이루어진 반도체 제조용 석
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