초록 ▼

본 발명은 쿼츠 히터에 관한 것으로서, 지지되는 기판을 균일하게 가열할 수 있는 쿼츠 히터에 관한 것이다. 이를 위해 샤프트와 결합되는 베이스 플레이트, 베이스 플레이트상에 적층 결합되며, 발열체 삽입홈이 이너존과 아우터존을 따라 기 설정된 패턴으로 각각 형성되는 제1,2 발열체 플레이트, 및 제1,2 발열체 플레이트 중 어느 한 플레이트상에 적층 결합되는 덮개 플레이트를 포함하며, 아우터존의 온도를 감지하기 위한 아우터존 열전대 삽입홈이 형성되며, 상기, 베이스 플레이트, 제1,2 발열체 플레이트, 덮개 플레이트는 쿼츠로 이루어지

본 발명은 쿼츠 히터에 관한 것으로서, 지지되는 기판을 균일하게 가열할 수 있는 쿼츠 히터에 관한 것이다. 이를 위해 샤프트와 결합되는 베이스 플레이트, 베이스 플레이트상에 적층 결합되며, 발열체 삽입홈이 이너존과 아우터존을 따라 기 설정된 패턴으로 각각 형성되는 제1,2 발열체 플레이트, 및 제1,2 발열체 플레이트 중 어느 한 플레이트상에 적층 결합되는 덮개 플레이트를 포함하며, 아우터존의 온도를 감지하기 위한 아우터존 열전대 삽입홈이 형성되며, 상기, 베이스 플레이트, 제1,2 발열체 플레이트, 덮개 플레이트는 쿼츠로 이루어지는 것을 특징으로 하는 쿼츠 히터가 개시된다.

대표청구항 ▼

샤프트와 결합되는 베이스 플레이트,상기 베이스 플레이트상에 적층 결합되며, 발열체 삽입홈이 이너존과 아우터존을 따라 기 설정된 패턴으로 각각 형성되며, 다층 구조의 제1,2 발열체 플레이트로 이루어지는 제1,2 발열체 플레이트, 및덮개 플레이트의 수용공간에 수용됨으로써 발열체에서 발열된 열을 균일하게 기판에 전달하는 열전달 부재를 포함하며,상기 아우터존의 온도를 감지하기 위한 아우터존 열전대 삽입홈이 형성되며, 상기 이너존의 온도를 감지하는 이너존 열전대가 중앙 영역에 배치됨으로써 이너존과 아우터존의 온도를 감지하며,상기 베이스 플

샤프트와 결합되는 베이스 플레이트,상기 베이스 플레이트상에 적층 결합되며, 발열체 삽입홈이 이너존과 아우터존을 따라 기 설정된 패턴으로 각각 형성되며, 다층 구조의 제1,2 발열체 플레이트로 이루어지는 제1,2 발열체 플레이트, 및덮개 플레이트의 수용공간에 수용됨으로써 발열체에서 발열된 열을 균일하게 기판에 전달하는 열전달 부재를 포함하며,상기 아우터존의 온도를 감지하기 위한 아우터존 열전대 삽입홈이 형성되며, 상기 이너존의 온도를 감지하는 이너존 열전대가 중앙 영역에 배치됨으로써 이너존과 아우터존의 온도를 감지하며,상기 베이스 플레이트, 제1,2 발열체 플레이트, 덮개 플레이트는 쿼츠로 이루어지지며,제1,2 발열체 플레이트에는 제1,2 발열체가 삽입되는 제1,2 발열체 삽입홈이 형성되며, 상기 제1,2 발열체 삽입홈의 개구는 상면에 상측방향으로 형성되고, 상기 제2 발열체 삽입홈과 상기 덮개 플레이트의 돌기부가 적어도 일부 영역에서 서로 어긋나도록 배치되거나 또는 상기 돌기부가 상기 제2 발열체 플레이트의 상면을 지지함으로써 상기 제2 발열체 플레이트에 배치된 제2 발열체와 상기 열전달부재간에 서로 전기적으로 접촉되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 쿼츠 히터.