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연합인증

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[한국특허] 마스크 블랭크 유리기판의 제조방법, 마스크 블랭크의 제조방법, 마스크의 제조방법, 마스크 블랭크 유리기판, 마스크 블랭크, 및 마스크 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • G03F-001/60
  • G03F-001/38
출원번호 10-2012-0044138 (2012-04-26)
공개번호 10-2012-0050950 (2012-05-21)
등록번호 10-1306392-0000 (2013-09-03)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2005-096976 (2005-03-30);일본(JP) JP-P-2005-377140 (2005-12-28)
DOI http://doi.org/10.8080/1020120044138
발명자 / 주소
  • 쿠리카와, 아키노리 / 일본 야마나시켄 코후시 아사히 *-*-**
  • 카사하라, 히사시 / 일본 야마나시켄 호쿠토시 오이즈미쵸 니시이데 ****
  • 오쿠보, 야스시 / 일본 도쿄도 히가시야마토시 카미키타다이 *-***-**
출원인 / 주소
  • 호야 가부시키가이샤 / 일본국 도쿄도 신쥬꾸구 나까오찌아이 *쵸메 *-*
대리인 / 주소
  • 이중희; 양영준
심사청구여부 있음 (2012-04-26)
심사진행상태 등록결정(심사전치후)
법적상태 소멸

초록

본 발명에 따른 마스크 블랭크 유리기판의 제조방법은, 마스크 블랭크 유리기판의 표면 상의, 전사(transfer)에 영향을 미치지 않는 영역의 경면형상의 표면(mirror-like surface)으로 레이저광을 조사함으로써, 상기 마스크 블랭크 유리기판을 식별 또는 관리하기 위한 마커(marker)로서 사용되는 오목부(pit)를 형성하는 마킹 단계를 포함한다.

대표청구항

삭제

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [일본] BLANKS FOR PHOTOMASK WITH AREA CODE, PHOTOMASK WITH AREA CODE AND METHOD FOR PRODUCING PHOTOMASK | YAMAMOTO KAZUAKI, NISHIYAMA SHOICHI
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