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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0078929 (2012-07-19) | |
공개번호 | 10-2014-0012338 (2014-02-03) | |
등록번호 | 10-1436572-0000 (2014-08-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120078929 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-07-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 라인빔을 조사하여 측정대상물의 높이를 측정하는 과정에서 측정대상물의 영역별 반사도에 따라 조사되는 라인빔의 인텐시티를 다르게 출력하는 것을 특징으로 하는 광삼각법을 이용한 3차원형상 측정장치에 관한 것으로, 인쇄회로기판에 다수개의 범프가 돌출되도록 실장된 입체형상의 측정대상물이 로딩되는 테이블과, 상기 측정대상물의 상면에 빔을 출력하도록 상기 측정대상물의 상방에 배치되는 프로젝터와, 상기 프로젝터의 하방에 배치되어 상기 프로젝터에서 조사된 면 형태의 빔을 입력 받아 라인빔으로 집광시켜 출력하는 집광수단과, 상기 측정대상물
입체형상의 측정대상물이 로딩되는 테이블;상기 측정대상물의 상방에 배치되어, 상기 측정대상물의 상면에 면형태의빔을 출력하되, 상기 측정대상물의 영역별 반사도와 반비례하도록 영역별로 명도(intensity)를 다르게 출력하는 프로젝터;상기 프로젝터의 하방에 동축으로 배치되어 상기 프로젝터에서 조사된 면 형태의 빔을 입력 받아 라인빔으로 집광시켜 출력하는 집광수단;상기 측정대상물의 상방에 상기 프로젝터와 소정의 사잇각을 형성하도록 배치되어, 상기 집광수단에 의하여 라인빔으로 조사되었다가 상기 측정대상물로부터 반사된 라인빔의 이미지를 획득
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