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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0080179 (2012-07-23) | |
등록번호 | 10-1236163-0000 (2013-02-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120080179 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-07-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
패드 컨디셔닝 디스크, 패드 컨디셔너, 패드 컨디셔닝 방법에 관한 발명이 개시된다. 개시된 패드 컨디셔닝 디스크는 판부; 및 연마 패드의 표면을 컨디셔닝하도록 판부에 돌출 형성되는 연마부; 를 포함하고, 판부에는, 컨디셔닝할 때 발생되는 잔류물이 통과되도록 관통부가 관통 형성되고, 연마부에는, 관통부와 연통되도록 연통부가 관통 형성되는 것을 특징으로 한다.
판부; 및연마 패드의 표면을 컨디셔닝하도록 상기 판부에 돌출 형성되는 연마부; 를 포함하고,상기 연마부에 관통 형성되어 상기 컨디셔닝할 때 발생되는 잔류물의 이동 경로를 형성하는 연통부; 및상기 연통부와 연통되도록 상기 판부에 관통 형성되어 상기 잔류물이 상기 판부와 상기 연마 패드 사이에서 흡입력에 의해 흡입 배출되는 관통부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패드 컨디셔닝 디스크.
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