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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0156258 (2012-12-28) | |
등록번호 | 10-1352125-0000 (2014-01-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120156258 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-12-28) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 엘씨디 검사 장비용 스테이지의 평탄도 조절장치에 관한 것으로서, 엘씨디 검사 장비를 장시간 사용하여도 엘씨디 글라스가 안착되는 스테이지의 평탄도 값을 일정하게 유지할 뿐만 아니라 스테이지의 위치 변화에 따라 상기 스테이지의 평탄도를 자동으로 손쉽고 용이하게 조절하도록 한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 상측 스테이지와 하측 스테이지로 이루어진 스테이지의 상·하측 스테이지 사이의 각 모서리부에는 상기 상측 스테이지의 각 모서리부를 각각 왕복이동시키도록 상·하측 고정부재와, 경사면부와 삽입홈부가 형성된 작동부 및, 갬플로워와
엘씨디 글라스의 패턴을 측정 및 검사하기 위하여 상기 엘씨디 글라스가 안착되는 상측 스테이지와 하측 스테이지로 이루어진 스테이지가 구비된 엘씨디 검사 장비에 있어서, 상기 스테이지의 상측 스테이지와 하측 스테이지 사이의 각 모서리부에는 상측 스테이지의 평탄도를 조절하기 위해 상기 상측 스테이지의 각 모서리부를 각각 왕복이동시키도록 하는 평탄도 조절장치가 각각 결합되되, 상기의 평탄도 조절장치는, 상기 상측 스테이지의 저면에 결합되는 상측 고정부재와, 상기 상측 고정부재의 저면에 결합되어 일측면에는 경사면부와 삽입홈부가 형성된 작동부
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