초록 ▼

본 발명은 엘씨디 검사 장비용 스테이지의 평탄도 조절장치에 관한 것으로서, 엘씨디 검사 장비를 장시간 사용하여도 엘씨디 글라스가 안착되는 스테이지의 평탄도 값을 일정하게 유지할 뿐만 아니라 스테이지의 위치 변화에 따라 상기 스테이지의 평탄도를 자동으로 손쉽고 용이하게 조절하도록 한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 상측 스테이지와 하측 스테이지로 이루어진 스테이지의 상·하측 스테이지 사이의 각 모서리부에는 상기 상측 스테이지의 각 모서리부를 각각 왕복이동시키도록 상·하측 고정부재와, 경사면부와 삽입홈부가 형성된 작동부 및, 갬플로워와

본 발명은 엘씨디 검사 장비용 스테이지의 평탄도 조절장치에 관한 것으로서, 엘씨디 검사 장비를 장시간 사용하여도 엘씨디 글라스가 안착되는 스테이지의 평탄도 값을 일정하게 유지할 뿐만 아니라 스테이지의 위치 변화에 따라 상기 스테이지의 평탄도를 자동으로 손쉽고 용이하게 조절하도록 한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 상측 스테이지와 하측 스테이지로 이루어진 스테이지의 상·하측 스테이지 사이의 각 모서리부에는 상기 상측 스테이지의 각 모서리부를 각각 왕복이동시키도록 상·하측 고정부재와, 경사면부와 삽입홈부가 형성된 작동부 및, 갬플로워와, 나사산공을 갖는 회전판과, 구동모터 및, 회전축부가 구뵈된 평탄도 조절장치가 각각 결합된 것이다.

대표청구항 ▼

엘씨디 글라스의 패턴을 측정 및 검사하기 위하여 상기 엘씨디 글라스가 안착되는 상측 스테이지와 하측 스테이지로 이루어진 스테이지가 구비된 엘씨디 검사 장비에 있어서, 상기 스테이지의 상측 스테이지와 하측 스테이지 사이의 각 모서리부에는 상측 스테이지의 평탄도를 조절하기 위해 상기 상측 스테이지의 각 모서리부를 각각 왕복이동시키도록 하는 평탄도 조절장치가 각각 결합되되, 상기의 평탄도 조절장치는, 상기 상측 스테이지의 저면에 결합되는 상측 고정부재와, 상기 상측 고정부재의 저면에 결합되어 일측면에는 경사면부와 삽입홈부가 형성된 작동부

엘씨디 글라스의 패턴을 측정 및 검사하기 위하여 상기 엘씨디 글라스가 안착되는 상측 스테이지와 하측 스테이지로 이루어진 스테이지가 구비된 엘씨디 검사 장비에 있어서, 상기 스테이지의 상측 스테이지와 하측 스테이지 사이의 각 모서리부에는 상측 스테이지의 평탄도를 조절하기 위해 상기 상측 스테이지의 각 모서리부를 각각 왕복이동시키도록 하는 평탄도 조절장치가 각각 결합되되, 상기의 평탄도 조절장치는, 상기 상측 스테이지의 저면에 결합되는 상측 고정부재와, 상기 상측 고정부재의 저면에 결합되어 일측면에는 경사면부와 삽입홈부가 형성된 작동부와, 상기 하측 스테이지의 상면에 결합되는 하측 고정부재와, 상기 하측 고정부재에 결합되는 캠플로워와, 상기 하측 고정부재의 측방에 설치되어 상기 작동부의 경사면부에 상면이 접촉됨과 함께 하부는 캠플로워에 회전가능하게 결합되어 회전하는 방향에 따라 상측 고정부재와 작동부를 상하방향으로 이동시키도록 나사산공을 갖는 회전판과, 상기 상측 고정부재의 측면에 결합되어 회전판을 회전시키기 위한 구동력이 발생되는 구동모터와, 상기 구동모터에 결합되어 상기 구동모터에 의해 정·역방향으로 회전하면서 회전판으로 회전시키도록 상기 상측 고정부재의 삽입홈부에 끼움 결합되는 끼움홈부가 형성됨은 물론 상기 회전판의 나사산공으로 삽입 체결되는 일측 외주면에 나사산이 형성된 회전축부가 구비됨을 특징으로 하는 엘씨디 검사 장비용 스테이지의 평탄도 조절장치.