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연합인증

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이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

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신너 조성물 및 이의 용도 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G03F-007/42
  • G03F-007/32
  • H01L-021/027
  • G03F-007/09
출원번호 10-2013-0014459 (2013-02-08)
공개번호 10-2014-0101156 (2014-08-19)
DOI http://doi.org/10.8080/1020130014459
발명자 / 주소
  • 권오환 / 경기 화성시 양감면 작은돌래길 **,
  • 윤석일 / 경기 화성시 양감면 작은돌래길 **,
  • 정종현 / 경기 화성시 양감면 작은돌래길 **,
  • 김병욱 / 경기 화성시 양감면 작은돌래길 **,
  • 조태표 / 경기 화성시 양감면 작은돌래길 **,
  • 신성건 / 경기 화성시 양감면 작은돌래길 **,
출원인 / 주소
  • 주식회사 동진쎄미켐 / 인천광역시 서구 백범로 *** (가좌동)
대리인 / 주소
  • 유미특허법인
심사진행상태 거절결정(재심사)
법적상태 거절

초록

본 발명은 신너 조성물 및 이의 용도에 관한 것이다. 본 발명에 따른 신너 조성물은 다양한 종류의 포토레지스트에 대한 우수한 용해력과 적정한 휘발성을 가져, 에지 비드 제거 공정 등에서 불필요하게 부착된 포토레지스트를 단시간에 효율적으로 제거할 수 있을 뿐 아니라, 반도체 기판의 프리웨팅 공정 등에 적용되어 적은 양의 포토레지스트로도 효율적인 감광막의 형성을 가능케 한다.

대표청구항

1-메톡시-2-프로판올 아세테이트; 및에틸렌 글리콜 프로필 에테르를 포함하는 신너 조성물.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 포토레지스트 사용량을 절감할 수 있는 신너 조성물 | 이상대, 박영진, 한두석
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