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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0140136 (2013-11-18) | |
공개번호 | 10-2015-0058620 (2015-05-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130140136 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
세정액은 세정액의 총 중량을 기준으로, 질산 2 내지 12 중량%; 유기산 0.5 내지 15 중량%; 염화합물 0.1 내지 10 중량%; 불소를 포함하는 무기염 0.01 내지 3 중량%; 및 잔부의 물을 포함한다. 상기 세정액을 사용하면 기판 상의 이물질을 효과적으로 세정할 수 있다.
세정액의 총 중량을 기준으로,질산 2 내지 12 중량%;유기산 0.5 내지 15 중량%;염화합물 0.1 내지 10 중량%;불소를 포함하는 무기염 0.01 내지 3 중량%; 및잔부의 물을 포함하는 세정액.
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