초록 ▼

본 발명은 카메라와 변위센서를 이용한 스테이지 캘리브레이션 방법에 관한 것이다. 이러한 스테이지 캘리브레이션 방법은, X축 방향으로의 이동, 상기 X축에 수직인 Y축 방향으로의 이동, 상기 X축 및 Y축에 수직인 Z축 방향으로 이동, 상기 Z축의 회전 이동, 및 상기 X축과 Y축이 이루는 평면의 틸팅 운동이 가능한 5축 스테이지를 캘리브레이션하는 방법에 있어서, 일정한 간격으로 이격되며 소정의 영역을 갖는 피듀셜마크가 표시된 기준글라스를 시료안착용 테이블에 설치하는 단계; 상기 피듀셜마크를 연결하여 일방향으로 연장되는 기준라인을 설

본 발명은 카메라와 변위센서를 이용한 스테이지 캘리브레이션 방법에 관한 것이다. 이러한 스테이지 캘리브레이션 방법은, X축 방향으로의 이동, 상기 X축에 수직인 Y축 방향으로의 이동, 상기 X축 및 Y축에 수직인 Z축 방향으로 이동, 상기 Z축의 회전 이동, 및 상기 X축과 Y축이 이루는 평면의 틸팅 운동이 가능한 5축 스테이지를 캘리브레이션하는 방법에 있어서, 일정한 간격으로 이격되며 소정의 영역을 갖는 피듀셜마크가 표시된 기준글라스를 시료안착용 테이블에 설치하는 단계; 상기 피듀셜마크를 연결하여 일방향으로 연장되는 기준라인을 설정하고, 상기 기준라인을 상기 X축과 일치하도록 정렬하는 단계; 고정된 카메라가 상기 기준라인 상의 상기 피듀셜마크 중에서 선택된 기준마크를 수직 상방향에서 관찰하고, 상기 기준라인이 상기 기준마크의 중심을 지나도록 배치하는 단계; 상기 기준마크의 중심에 대한 제1 위치를 변위센서를 이용하여 측정하는 단계; 상기 기준글라스를 틸팅시키는 단계; 틸팅에 의해 상기 기준마크의 중심을 벗어난 상기 기준라인을 상기 카메라에 의해 관찰하는 단계; 상기 기준마크의 중심을 벗어난 상기 기준라인의 중앙점에 대한 제2 위치를 상기 변위센서를 이용하는 측정하는 단계; 상기 제1 위치와 상기 제2 위치의 오차를 이용하여, 스테이지의 위치보정데이터를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

X축 방향으로의 이동, 상기 X축에 수직인 Y축 방향으로의 이동, 상기 X축 및 Y축에 수직인 Z축 방향으로 이동, 상기 Z축의 회전 이동, 및 상기 X축과 Y축이 이루는 평면의 틸팅 운동이 가능한 5축 스테이지를 캘리브레이션하는 방법에 있어서, 일정한 간격으로 이격되며 소정의 영역을 갖는 피듀셜마크가 표시된 기준글라스(20)를 시료안착용 테이블(40)에 설치하는 단계;상기 피듀셜마크를 연결하여 일방향으로 연장되는 기준라인(30)을 설정하고, 상기 기준라인(30)을 상기 X축과 일치하도록 정렬하는 단계;고정된 카메라(50)가 상기

X축 방향으로의 이동, 상기 X축에 수직인 Y축 방향으로의 이동, 상기 X축 및 Y축에 수직인 Z축 방향으로 이동, 상기 Z축의 회전 이동, 및 상기 X축과 Y축이 이루는 평면의 틸팅 운동이 가능한 5축 스테이지를 캘리브레이션하는 방법에 있어서, 일정한 간격으로 이격되며 소정의 영역을 갖는 피듀셜마크가 표시된 기준글라스(20)를 시료안착용 테이블(40)에 설치하는 단계;상기 피듀셜마크를 연결하여 일방향으로 연장되는 기준라인(30)을 설정하고, 상기 기준라인(30)을 상기 X축과 일치하도록 정렬하는 단계;고정된 카메라(50)가 상기 기준라인(30) 상의 상기 피듀셜마크 중에서 선택된 기준마크(RM)를 수직 상방향에서 관찰하고, 상기 기준라인(30)이 상기 기준마크(RM)의 중심을 지나도록 배치하는 단계;상기 기준마크(RM)의 중심에 대한 제1 위치(P1)를 변위센서(60)를 이용하여 측정하는 단계;상기 기준글라스(20)를 틸팅시키는 단계;틸팅에 의해 상기 기준마크(RM)의 중심을 벗어난 상기 기준라인(30)을 상기 카메라(50)에 의해 관찰하는 단계;상기 기준마크(RM)의 중심을 벗어나서 상기 기준마크(RM)의 영역 내에 존재하는 상기 기준라인(30)의 중앙점에 대한 제2 위치(P2)를 상기 변위센서(60)를 이용하는 측정하는 단계;상기 제1 위치(P1)와 상기 제2 위치(P2)의 오차를 이용하여, 스테이지의 위치보정데이터를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 카메라와 변위센서를 이용한 스테이지 캘리브레이션 방법.