$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[한국특허] 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-051/56
  • H01L-021/67
  • H01L-021/677
  • H01L-051/00
출원번호 10-2018-0006032 (2018-01-17)
공개번호 10-2019-0087789 (2019-07-25)
등록번호 10-2307731-0000 (2021-09-27)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180006032
발명자 / 주소
  • 이민호 / 경기도 시흥시 정왕대로 ***번길 * 주공*단지 ***동 ***호
출원인 / 주소
  • 주식회사 제우스 / 경기도 화성시 안녕남로 ***
대리인 / 주소
  • 특허법인아주
심사청구여부 있음 (2020-02-06)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐에 대한 발명이 개시된다. 개시된 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐은, 내부의 구조물 상에 글라스기판을 안착하도록 출입구를 형성하는 챔버와, 출입구를 개폐하여 글라스기판의 인출을 도와주고, 챔버에서 가열기체의 누출을 방지하는 셔터부와, 챔버 내부의 고열에 의해 셔터부에서 발생되는 열전달과 열변형을 줄여주어 챔버에서 유기증기의 누설을 방지하는 열변형방지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항

내부의 구조물 상에 글라스기판을 안착하도록 출입구를 형성하는 챔버;상기 출입구를 개폐하여 상기 글라스기판의 인출을 도와주고, 상기 챔버에서 가열기체의 누출을 방지하는 셔터부; 및상기 챔버 내부의 고열에 의해 상기 셔터부에서 발생되는 열전달과 열변형을 줄여주어 상기 챔버에서 유기증기의 누설을 방지하는 열변형방지부;를 포함하고,상기 셔터부는, 상기 출입구를 차단하는 바디부; 및상기 바디부와 이격 배치되도록 연결되고, 상기 바디부를 상기 챔버의 출입구에 구동부를 통해 가압 밀착하는 메인프레임부;를 포함하며,상기 메인프레임부는, 상기 바디

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 개선된 기판 열처리 챔버용 도어, 및 이를 구비한 기판 열처리 챔버 및 장치 | 서석원, 노성호
  2. [한국] 코크스 오븐 도어의 기밀장치 | 강명성
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로