[특허]화학기계적 연마용 슬러리 조성물

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화학기계적 연마용 슬러리 조성물 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	C09K-003/14 H01L-021/304
출원번호	10-2013-0104201 (2013-08-30)
공개번호	10-2015-0025969 (2015-03-11)
등록번호	10-1573113-0000 (2015-11-24)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020130104201
발명자 / 주소	이석호 / 경기도 용인시 기흥구 동백로*번길 송정환 / 서울특별시 양천구 목동서로 *** 신시가지단지아파트 동 호 전성식 / 경기도 용인시 기흥구 동백중앙로 * 백현마을동일하이빌아파트 **동 **호
출원인 / 주소	엘티씨에이엠 주식회사 / 경기도 평택시 산단로번길 (모곡동)
대리인 / 주소	정상규
심사청구여부	있음 (2013-08-30)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명의 슬러리 조성물은, 연마재 0.1~10 wt%, 이소싸이아졸(Isothiazole)계 분산 및 안정제 0.01~1wt%, 벤조카르복실산(Benzene Carboxylic Acid)계 부식방지제 0.01~1wt%, 아미노산(Amino Acid)계 킬레이트제(Chelating Agent) 0.01~15wt%, 아크릴아마이드계와 아미노메틸프로판올계로 이루어진 착화제(Complexing Agent) 0.01~1wt%를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.이러한 본 발명의 슬러리 조성물은 기존의 연마용 슬러리에 비해 고속 CMP 공정하에서도 디싱(Dishing) 및 이로젼(Erosion) 현상을 극소화하면서 안정적 Cu 연마율(remove rate)과 Cu와 Ta간 선택적연마율(Selective Remove Rate)의 극대화를 구현하여, 피연마면에 결함(defect)을 일으키지 않는다.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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