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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0155161 (2013-12-13) | |
등록번호 | 10-1524625-0000 (2015-05-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130155161 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-12-13) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물은 첨가제 조성물 및 슬러리 조성물의 혼합 시 양전하를 유지하며, 이중막 연마 시 산화막에서는 단차 제거 속도가 빨라 높은 연마 선택비를 가지고, 단차 제거 후 다결정실리콘막이 노출될 때에는 연마 속도가 느려져 자동연마정지 기능 및 연마 평탄도를 구현할 수 있다.
연마입자, 유기산, 글루코사민류 화합물이 결합된 고분자 다당체 및 pH 조절제를 포함하는 슬러리 조성물; 및비이온성 고분자, 글루코사민류 화합물이 결합된 고분자 다당체 및 pH 조절제를 포함하는 첨가제 조성물;을 포함하는 자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물로서,상기 연마입자는, 금속산화물, 유기물 또는 무기물로 코팅된 상기 금속산화물, 및 콜로이달 상태의 상기 금속산화물로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고, 상기 금속산화물은, 실리카, 세리아, 지르코니아, 알루미나, 티타니아, 바륨티타니아, 게르마니아, 망가
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