[특허]자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물

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[한국특허] 자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C09K-003/14 H01L-021/304
출원번호	10-2013-0155161 (2013-12-13)
등록번호	10-1524625-0000 (2015-05-26)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020130155161
발명자 / 주소	권장국 / 경기 안성시 미양면 제공단길 *, 이성표 / 경기 안산시 대덕면 대학길 , 가호 (신라아파트) 최낙현 / 경기 안성시 미양면 제공단길 , 정기화 / 경기 안성시 장기로 , ***호 (낙원동, 서광아파트)
출원인 / 주소	주식회사 케이씨텍 / 경기도 안성시 미양면 제공단길 **
대리인 / 주소	특허법인 무한
심사청구여부	있음 (2013-12-13)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물은 첨가제 조성물 및 슬러리 조성물의 혼합 시 양전하를 유지하며, 이중막 연마 시 산화막에서는 단차 제거 속도가 빨라 높은 연마 선택비를 가지고, 단차 제거 후 다결정실리콘막이 노출될 때에는 연마 속도가 느려져 자동연마정지 기능 및 연마 평탄도를 구현할 수 있다.

대표청구항 ▼

연마입자, 유기산, 글루코사민류 화합물이 결합된 고분자 다당체 및 pH 조절제를 포함하는 슬러리 조성물; 및비이온성 고분자, 글루코사민류 화합물이 결합된 고분자 다당체 및 pH 조절제를 포함하는 첨가제 조성물;을 포함하는 자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물로서,상기 연마입자는, 금속산화물, 유기물 또는 무기물로 코팅된 상기 금속산화물, 및 콜로이달 상태의 상기 금속산화물로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고, 상기 금속산화물은, 실리카, 세리아, 지르코니아, 알루미나, 티타니아, 바륨티타니아, 게르마니아, 망가니아 및 마그네시아로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것이고,상기 자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물의 제타전위는 +20 내지 +70 mV인 것이고,상기 자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물은 다결정실리콘막 자동연마정지 기능을 가지는 것인,자동연마정지 기능 CMP 슬러리 조성물.

발명자의 다른 특허 :

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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