최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2013-7028086 (2013-10-24) | |
공개번호 | 10-2014-0024342 (2014-02-28) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2011-131146 (2011-06-13) | |
국제출원번호 | PCT/JP2012/059655 (2012-04-09) | |
국제공개번호 | WO 2012/172860 (2012-12-20) | |
번역문제출일자 | 2013-10-24 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020137028086 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 수증기 등의 산화제 중에서의 소성 공정에서 수축이 작아, 실리카막의 균열이나 반도체 기판과의 박리가 발생하기 어려운 무기 폴리실라잔 및 무기 폴리실라잔을 함유하는 실리카막 형성용 도포액을 제공하는 것이며, 1H-NMR 스펙트럼에 있어서 4.75ppm 이상 5.4ppm 미만인 범위의 피크 면적을 A로 하고, 4.5ppm 이상 4.75ppm 미만인 범위의 피크 면적을 B로 하고, 4.2ppm 이상 4.5ppm 미만인 범위의 피크 면적을 C로 했을 때, A/(B+C)의 값이 0.9~1.5이고, (A+B)/C의 값이 4.2~50
1H-NMR 스펙트럼에 있어서 4.75ppm 이상 5.4ppm 미만인 범위의 피크 면적을 A로 하고, 4.5ppm 이상 4.75ppm 미만인 범위의 피크 면적을 B로 하고, 4.2ppm 이상 4.5ppm 미만인 범위의 피크 면적을 C로 했을 때, A/(B+C)의 값이 0.9~1.5이고, (A+B)/C의 값이 4.2~50이며, 폴리스티렌 환산값에 따른 질량평균 분자량이 2000~20000인 무기 폴리실라잔.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.