초록 ▼

본 발명은 수증기 등의 산화제 중에서의 소성 공정에서 수축이 작아, 실리카막의 균열이나 반도체 기판과의 박리가 발생하기 어려운 무기 폴리실라잔 및 무기 폴리실라잔을 함유하는 실리카막 형성용 도포액을 제공하는 것이며, 1H-NMR 스펙트럼에 있어서 4.75ppm 이상 5.4ppm 미만인 범위의 피크 면적을 A로 하고, 4.5ppm 이상 4.75ppm 미만인 범위의 피크 면적을 B로 하고, 4.2ppm 이상 4.5ppm 미만인 범위의 피크 면적을 C로 했을 때, A/(B+C)의 값이 0.9~1.5이고, (A+B)/C의 값이 4.2~50

본 발명은 수증기 등의 산화제 중에서의 소성 공정에서 수축이 작아, 실리카막의 균열이나 반도체 기판과의 박리가 발생하기 어려운 무기 폴리실라잔 및 무기 폴리실라잔을 함유하는 실리카막 형성용 도포액을 제공하는 것이며, 1H-NMR 스펙트럼에 있어서 4.75ppm 이상 5.4ppm 미만인 범위의 피크 면적을 A로 하고, 4.5ppm 이상 4.75ppm 미만인 범위의 피크 면적을 B로 하고, 4.2ppm 이상 4.5ppm 미만인 범위의 피크 면적을 C로 했을 때, A/(B+C)의 값이 0.9~1.5이고, (A+B)/C의 값이 4.2~50이며, 폴리스티렌 환산값에 따른 질량평균 분자량이 2000~20000인 무기 폴리실라잔 및 이것을 함유해서 이루어지는 실리카막 형성용 도포액을 제공하는 것이다.

대표청구항

1H-NMR 스펙트럼에 있어서 4.75ppm 이상 5.4ppm 미만인 범위의 피크 면적을 A로 하고, 4.5ppm 이상 4.75ppm 미만인 범위의 피크 면적을 B로 하고, 4.2ppm 이상 4.5ppm 미만인 범위의 피크 면적을 C로 했을 때, A/(B+C)의 값이 0.9~1.5이고, (A+B)/C의 값이 4.2~50이며, 폴리스티렌 환산값에 따른 질량평균 분자량이 2000~20000인 무기 폴리실라잔.

1H-NMR 스펙트럼에 있어서 4.75ppm 이상 5.4ppm 미만인 범위의 피크 면적을 A로 하고, 4.5ppm 이상 4.75ppm 미만인 범위의 피크 면적을 B로 하고, 4.2ppm 이상 4.5ppm 미만인 범위의 피크 면적을 C로 했을 때, A/(B+C)의 값이 0.9~1.5이고, (A+B)/C의 값이 4.2~50이며, 폴리스티렌 환산값에 따른 질량평균 분자량이 2000~20000인 무기 폴리실라잔.