초록 ▼

오버레이 마크 이미지의 중심점을 찾는 방법이 개시된다. 상기 방법은 (a) 광학적 오버레이 계측장비에서, 렌즈를 통해 오버레이 마크 인식 시에, 상기 오버레이 마크가 존재하는 영역에서 일정크기의 이미지를 획득하여 제1이미지로 결정하는 단계; (b) 상기 제1 이미지를 변환시켜 제2 이미지를 생성하는 단계; (c) 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지의 특성값을 비교하여 비교값을 산출하는 단계; (d) 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지의 유사도를 판단하기 위해 상기 비교값이 일정기준범위 내에 있는지 확인하는 단계; (e) 상기 비

오버레이 마크 이미지의 중심점을 찾는 방법이 개시된다. 상기 방법은 (a) 광학적 오버레이 계측장비에서, 렌즈를 통해 오버레이 마크 인식 시에, 상기 오버레이 마크가 존재하는 영역에서 일정크기의 이미지를 획득하여 제1이미지로 결정하는 단계; (b) 상기 제1 이미지를 변환시켜 제2 이미지를 생성하는 단계; (c) 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지의 특성값을 비교하여 비교값을 산출하는 단계; (d) 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지의 유사도를 판단하기 위해 상기 비교값이 일정기준범위 내에 있는지 확인하는 단계; (e) 상기 비교값이 일정기준범위 내에 있으면, 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지가 동일하다고 판단하고, 상기 제1 이미지의 중심점을 결정하는 단계; 및 (f) 상기 제1 이미지의 중심점을 상기 오버레이 마크의 중심점으로 결정하는 단계를 포함한다.

대표청구항 ▼

(a) 광학적 오버레이 계측장비에서, 렌즈를 통해 오버레이 마크 인식 시에, 상기 오버레이 마크가 존재하는 영역에서 일정크기의 이미지를 획득하여 제1이미지로 결정하는 단계이되, 상기 오버레이 마크는 상기 오버레이 마크의 중심점을 기준으로 원래의 이미지와 180°회전시켰을 때 이미지가 동일한 이미지를 사용하는 단계;(b) 상기 제1 이미지를 변환시켜 제2 이미지를 생성하는 단계이되, 상기 제2 이미지는 상기 제1 이미지를 180°회전하여 이미지를 생성하는 단계; (c) 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지의 특성값을 비교하여 비교값을

(a) 광학적 오버레이 계측장비에서, 렌즈를 통해 오버레이 마크 인식 시에, 상기 오버레이 마크가 존재하는 영역에서 일정크기의 이미지를 획득하여 제1이미지로 결정하는 단계이되, 상기 오버레이 마크는 상기 오버레이 마크의 중심점을 기준으로 원래의 이미지와 180°회전시켰을 때 이미지가 동일한 이미지를 사용하는 단계;(b) 상기 제1 이미지를 변환시켜 제2 이미지를 생성하는 단계이되, 상기 제2 이미지는 상기 제1 이미지를 180°회전하여 이미지를 생성하는 단계; (c) 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지의 특성값을 비교하여 비교값을 산출하는 단계;(d) 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지의 상기 비교값을 확인하는 단계;(e) 상기 비교값을 통해 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지의 동일여부를 판단하여 상기 제1 이미지의 중심점을 결정하는 단계; 및(f) 상기 제1 이미지의 중심점을 상기 오버레이 마크의 중심점으로 결정하는 단계를 포함하는 오버레이 마크 이미지의 중심점을 찾는 방법.