초록 ▼

본 발명은 실리콘 웨이퍼를 정렬하는 장치, 방법 및 웨이퍼 정렬 장치 보정 방법에 관한 것이다. 본 발명은 상부 웨이퍼를 본딩 모듈에 로딩된 하부 웨이퍼에 대해서 정렬하여 상기 본딩 모듈에 공급하는 정렬 장치로서, 정렬 마크가 형성된 보정용 웨이퍼가 로딩되는 보정 스테이지와, 상기 정렬 마크를 촬영하도록 구성된 상부 카메라와, 상기 보정용 웨이퍼를 파지하는 헤드와, 상기 헤드를 상기 상부 카메라에 대해서 이동시키는 헤드 이송 장치와, 상기 정렬 마크를 촬영하도록 구성된 하부 카메라와, 상기 하부 카메라를 상기 헤드에 대해서 이동시키

본 발명은 실리콘 웨이퍼를 정렬하는 장치, 방법 및 웨이퍼 정렬 장치 보정 방법에 관한 것이다. 본 발명은 상부 웨이퍼를 본딩 모듈에 로딩된 하부 웨이퍼에 대해서 정렬하여 상기 본딩 모듈에 공급하는 정렬 장치로서, 정렬 마크가 형성된 보정용 웨이퍼가 로딩되는 보정 스테이지와, 상기 정렬 마크를 촬영하도록 구성된 상부 카메라와, 상기 보정용 웨이퍼를 파지하는 헤드와, 상기 헤드를 상기 상부 카메라에 대해서 이동시키는 헤드 이송 장치와, 상기 정렬 마크를 촬영하도록 구성된 하부 카메라와, 상기 하부 카메라를 상기 헤드에 대해서 이동시키는 하부 카메라 이송 장치를 포함하는 웨이퍼 정렬 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 정렬 장치는 보정용 웨이퍼를 이용하여 상부 카메라와 하부 카메라를 간단하게 정렬할 수 있다는 장점이 있다.

대표청구항

상부 웨이퍼를 본딩 모듈에 로딩된 하부 웨이퍼에 대해서 정렬하여 상기 본딩 모듈에 공급하는 정렬 장치로서,정렬 마크가 형성된 투명 웨이퍼 또는 관통형 정렬 마크가 형성된 웨이퍼인 보정용 웨이퍼가 로딩되는 보정 스테이지와,상기 정렬 마크를 촬영하도록 구성된 상부 카메라와,상기 보정용 웨이퍼를 파지하는 헤드와,상기 헤드를 상기 상부 카메라에 대해서 이동시키는 헤드 이송 장치와, 상기 정렬 마크를 촬영하도록 구성된 하부 카메라와,상기 하부 카메라를 상기 헤드에 대해서 이동시키는 하부 카메라 이송 장치를 포함하는 웨이퍼 정렬 장치.

상부 웨이퍼를 본딩 모듈에 로딩된 하부 웨이퍼에 대해서 정렬하여 상기 본딩 모듈에 공급하는 정렬 장치로서,정렬 마크가 형성된 투명 웨이퍼 또는 관통형 정렬 마크가 형성된 웨이퍼인 보정용 웨이퍼가 로딩되는 보정 스테이지와,상기 정렬 마크를 촬영하도록 구성된 상부 카메라와,상기 보정용 웨이퍼를 파지하는 헤드와,상기 헤드를 상기 상부 카메라에 대해서 이동시키는 헤드 이송 장치와, 상기 정렬 마크를 촬영하도록 구성된 하부 카메라와,상기 하부 카메라를 상기 헤드에 대해서 이동시키는 하부 카메라 이송 장치를 포함하는 웨이퍼 정렬 장치.