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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2014-0073489 (2014-06-17) | |
| 등록번호 | 10-1526120-0000 (2015-05-29) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020140073489 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2014-06-17) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
이온빔 소스는 상면에 일정 깊이로 형성되는 링 형상의 내부 공간을 갖는 몸체와, 상기 몸체 상면에 구비되며, 상기 몸체의 내부 공간과 연통되어 이온빔을 인출하기 위한 개구를 갖는 음극과, 상기 몸체의 하부면으로부터 상기 내부 공간에 의해 구분되는 중앙 부위와 가장자리 중 상기 가장자리 부위를 관통하여 상기 내부 공간의 외측에서 상기 내부 공간으로 가스를 공급하기 위한 가스 공급 라인 및 상기 몸체의 내부 공간에 상기 음극과 이격되도록 구비되며, 외부로부터 인가되는 전원과 연동하여 상기 음극과 사이에서 전기장을 형성하여 상기 가스를
상면에 일정 깊이로 형성되는 링 형상의 내부 공간을 갖는 몸체;상기 몸체 상면에 구비되며, 상기 몸체의 내부 공간과 연통되어 이온빔을 인출하기 위한 개구를 갖는 음극;상기 몸체의 하부면으로부터 상기 내부 공간에 의해 구분되는 중앙 부위와 가장자리 중 상기 가장자리 부위를 관통하여 상기 내부 공간의 외측에서 상기 내부 공간으로 가스를 공급하기 위한 가스 공급 라인; 및상기 몸체의 내부 공간에 상기 음극과 이격되도록 구비되며, 외부로부터 인가되는 전원과 연동하여 상기 음극과 사이에서 전기장을 형성하여 상기 가스를 이온화하는 양극을 포함
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