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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0062137 (2015-04-30) | |
공개번호 | 10-2016-0129639 (2016-11-09) | |
등록번호 | 10-2590892-0000 (2023-10-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150062137 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-04-01) | |
심사진행상태 | 등록결정(취소환송후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 실시예들은 유기발광소자 등의 증착공정에 적용가능한 마스크 구조에 대한 것으로, 금속판의 상기 두께방향에 대해 직교하고, 서로 대향하는 제1면 및 제2면을 구비하며, 상기 제1면 및 제2면을 관통하며, 상호간에 연통하는 제1면공 및 제2면공을 가지는 단위홀을 다수 포함하며, 서로 이웃하는 단위홀 들간의 제1면공 또는 제2면공의 크기편차가 임의의 단위홀간 크기 편차를 기준으로 2%~10% 이내로 조절하거나, 상기 제1면공의 중심과 상기 제2면공의 중심이 상기 제1면의 표면을 기준으로 상호 불일치하는 위치에 배치되는 증착마스크
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