초록 ▼

플렉서블(Flexible)한 파릴렌 박막으로 원형의 미세유체 챔버(Microfluidic Chamber)를 제작하고, 이를 이용하여 초점거리를 조정할 수 있는 마이크로 렌즈 및 그 제조방법이 개시된다.마이크로 렌즈의 제조방법은, 제1 베이스 기판에 제1 패턴을 형성하고, 상기 제1 패턴 상에 제1 파릴렌 박막을 형성하여 몰드부를 형성하는 단계, 실리콘층 상에 SiN층이 형성된 제2 베이스 기판에서, 제1 면에서 SiN층을 에칭하고 실리콘층을 일부 에칭하여 제2 패턴을 형성하고, 제2 면의 SiN층 상에 제2 파릴렌 박막을 형성하여

플렉서블(Flexible)한 파릴렌 박막으로 원형의 미세유체 챔버(Microfluidic Chamber)를 제작하고, 이를 이용하여 초점거리를 조정할 수 있는 마이크로 렌즈 및 그 제조방법이 개시된다.마이크로 렌즈의 제조방법은, 제1 베이스 기판에 제1 패턴을 형성하고, 상기 제1 패턴 상에 제1 파릴렌 박막을 형성하여 몰드부를 형성하는 단계, 실리콘층 상에 SiN층이 형성된 제2 베이스 기판에서, 제1 면에서 SiN층을 에칭하고 실리콘층을 일부 에칭하여 제2 패턴을 형성하고, 제2 면의 SiN층 상에 제2 파릴렌 박막을 형성하여 지지기판을 형성하는 단계, 상기 제2 파릴렌 박막 상에 제1 파릴렌 박막이 결합되도록 상기 몰드부와 상기 지지기판을 결합시키는 단계, 상기 몰드부를 제거하여 상기 지지기판 상에 상기 제1 파릴렌 박막을 전사하여 미세유체 챔버를 제조하는 단계 및 상기 미세유체 챔버 내부에 유체를 충진하여 마이크로 렌즈를 제조하는 단계를 포함하고, 상기 미세유체 챔버에 충진되는 압력이나 충진되는 유체의 종류를 조절하여 초점거리를 변경시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

제1 베이스 기판에 제1 패턴을 형성하고, 상기 제1 패턴 상에 제1 파릴렌 박막을 형성하여 몰드부를 형성하는 단계;실리콘층 상에 SiN층이 형성된 제2 베이스 기판에서, 제1 면에서 SiN층을 에칭하고 실리콘층을 일부 에칭하여 제2 패턴을 형성하고, 제2 면의 SiN층 상에 제2 파릴렌 박막을 형성하여 지지기판을 형성하는 단계;상기 제2 파릴렌 박막 상에 제1 파릴렌 박막이 결합되도록 상기 몰드부와 상기 지지기판을 결합시키는 단계;상기 몰드부를 제거하여 상기 지지기판 상에 상기 제1 파릴렌 박막을 전사하여 미세유체 챔버를 제조하는

제1 베이스 기판에 제1 패턴을 형성하고, 상기 제1 패턴 상에 제1 파릴렌 박막을 형성하여 몰드부를 형성하는 단계;실리콘층 상에 SiN층이 형성된 제2 베이스 기판에서, 제1 면에서 SiN층을 에칭하고 실리콘층을 일부 에칭하여 제2 패턴을 형성하고, 제2 면의 SiN층 상에 제2 파릴렌 박막을 형성하여 지지기판을 형성하는 단계;상기 제2 파릴렌 박막 상에 제1 파릴렌 박막이 결합되도록 상기 몰드부와 상기 지지기판을 결합시키는 단계;상기 몰드부를 제거하여 상기 지지기판 상에 상기 제1 파릴렌 박막을 전사하여 미세유체 챔버를 제조하는 단계; 및상기 미세유체 챔버 내부에 유체를 충진하여 마이크로 렌즈를 제조하는 단계;를 포함하고,상기 미세유체 챔버에 충진되는 압력이나 충진되는 유체의 종류를 조절하여 초점거리를 변경시키는 마이크로 렌즈의 제조방법.