[특허]마이크로 렌즈 어레이 제조 방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G02B-003/00 B29D-011/00 G03F-007/20 H01L-021/027
출원번호	10-2015-0158816 (2015-11-12)
공개번호	10-2016-0063242 (2016-06-03)
등록번호	10-1839461-0000 (2018-03-12)
우선권정보	대한민국(KR) 1020140166780 (2014-11-26)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020150158816
발명자 / 주소	원용협 / 대전광역시 유성구 대학로 * (구성동) 김준오 / 경기도 수원시 권선구 권선로번길 * (권선동, 한일그랜드빌리지)
출원인 / 주소	한국과학기술원 / 대전광역시 유성구 대학로 ***(구성동)
대리인 / 주소	유미특허법인
심사청구여부	있음 (2015-11-12)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록

마이크로 렌즈 어레이 제조 방법이 개시된다.이 방법에서는, 먼저, 기판 상에 포토레지스트를 도포하여 포토레지스트층을 형성한다.그 후, 마스크를 사용하여 상기 포토레지스트층의 일부를 노광하고, 상기 포토레지스트층의 상부에 박막을 형성한다.계속해서, 상기 박막이 형성된 포토레지스트층을 현상하는 동시에 초음파 진동을 가하여 상기 박막이 융기하도록 한 후, 융기한 상기 박막에 전면 노광을 수행하여 마이크로 렌즈 어레이를 형성한다.

대표청구항 ▼

기판 상에 포토레지스트를 도포하여 포토레지스트층을 형성하는 단계;마스크를 사용하여 상기 포토레지스트층의 일부를 노광하는 단계;상기 포토레지스트층의 상부에 박막을 형성하는 단계; 상기 박막이 형성된 포토레지스트층을 현상하는 동시에 초음파 진동을 가하여 상기 박막이 융기하도록 하는 단계; 및융기한 상기 박막에 전면 노광을 수행하는 단계를 포함하고,상기 박막이 융기하도록 하는 단계에서, 상기 박막이 형성된 포토레지스트층이 형성된 기판이 현상액에 담궈져서 상기 초음파 진동에 의해 상기 포토레지스트와 상기 현상액의 혼합물이 상기 박막 내에서

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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