초록 ▼

본 발명은 복수의 노즐에서 나오는 박막 형성용 물질의 증발율을 구간별로 서로 일정하게 유지시키거나 의도적으로 서로 다르게 조절할 수 있도록 한 선형 진공 증발원의 가열 장치를 제공하는 것이 그 기술적 과제이다.이를 위해, 본 발명의 선형 진공 증발원의 가열 장치는, 양측으로 길다란 형상의 선형 도가니와, 상기 선형 도가니의 상면에 그 길이 방향을 따라 간격을 두고 구비되는 복수의 노즐을 포함한 선형 진공 증발원의 가열 장치로, 상기 선형 도가니의 측면을 그 길이 방향으로 복수의 구간으로 구분하여 상기 복수의 구간에 각각 위치되는 복

본 발명은 복수의 노즐에서 나오는 박막 형성용 물질의 증발율을 구간별로 서로 일정하게 유지시키거나 의도적으로 서로 다르게 조절할 수 있도록 한 선형 진공 증발원의 가열 장치를 제공하는 것이 그 기술적 과제이다.이를 위해, 본 발명의 선형 진공 증발원의 가열 장치는, 양측으로 길다란 형상의 선형 도가니와, 상기 선형 도가니의 상면에 그 길이 방향을 따라 간격을 두고 구비되는 복수의 노즐을 포함한 선형 진공 증발원의 가열 장치로, 상기 선형 도가니의 측면을 그 길이 방향으로 복수의 구간으로 구분하여 상기 복수의 구간에 각각 위치되는 복수의 히터; 상기 복수의 구간에 각각 위치되어 상기 복수의 노즐 중 상기 복수의 구간 각각에 놓인 하나 이상의 노즐에서 나오는 박막 형성용 물질의 증발율을 검출하는 복수의 센서; 및 상기 복수의 센서에서 검출되는 각각의 증발율이 서로 일정하게 유지되거나 서로 다르게 되도록 상기 복수의 히터를 제어하는 제어부를 포함한다.

대표청구항 ▼

양측으로 길다란 형상의 선형 도가니와, 상기 선형 도가니의 상면에 그 길이 방향을 따라 간격을 두고 구비되는 복수의 노즐을 포함한 선형 진공 증발원의 가열 장치로,상기 선형 도가니의 측면을 그 길이 방향으로 복수의 구간으로 구분하여 상기 복수의 구간에 각각 위치되는 복수의 히터;상기 복수의 구간에 각각 위치되어 상기 복수의 노즐 중 상기 복수의 구간 각각에 놓인 하나 이상의 노즐에서 나오는 박막 형성용 물질의 증발율을 검출하는 복수의 센서; 및상기 복수의 센서에서 검출되는 각각의 증발율이 서로 일정하게 유지되거나 서로 다르게 되도록

양측으로 길다란 형상의 선형 도가니와, 상기 선형 도가니의 상면에 그 길이 방향을 따라 간격을 두고 구비되는 복수의 노즐을 포함한 선형 진공 증발원의 가열 장치로,상기 선형 도가니의 측면을 그 길이 방향으로 복수의 구간으로 구분하여 상기 복수의 구간에 각각 위치되는 복수의 히터;상기 복수의 구간에 각각 위치되어 상기 복수의 노즐 중 상기 복수의 구간 각각에 놓인 하나 이상의 노즐에서 나오는 박막 형성용 물질의 증발율을 검출하는 복수의 센서; 및상기 복수의 센서에서 검출되는 각각의 증발율이 서로 일정하게 유지되거나 서로 다르게 되도록 상기 복수의 히터를 제어하는 제어부를 포함하고,상기 복수의 구간은,상기 선형 도가니의 측면 중 상부에 해당하는 복수의 상부 구간; 및상기 선형 도가니의 측면 중 하부에 해당하는 복수의 하부 구간을 더 포함하고,상기 복수의 히터는,상기 복수의 상부 구간에 각각 위치되는 상부 히터; 및상기 복수의 하부 구간에 각각 위치되는 하부 히터를 포함하고,상기 각각의 상부 히터와 상기 각각의 하부 히터는, 서로 분리되며 상기 제어부를 통해 개별 제어되는선형 진공 증발원의 가열 장치.