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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-7015472 (2014-06-09) | |
공개번호 | 10-2014-0101347 (2014-08-19) | |
등록번호 | 10-1573647-0000 (2015-11-25) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2012-109660 (2012-05-11) | |
국제출원번호 | PCT/JP2012/007104 (2012-11-06) | |
국제공개번호 | WO 2013/168206 (2013-11-14) | |
번역문제출일자 | 2014-06-09 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020147015472 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-06-09) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 스털링 냉동기를 사용한 냉각 트랩을 제공한다.냉동기(14)는 방열부(25)와 흡열부(24) 사이에서 작동 가스를 왕복시키도록 프리 피스톤(35)을 구동하는 구동 피스톤(31)과, 하우징(22)의 진동을 측정하는 진동 센서(41)와, 구동 피스톤(31)이 구동되었을 때의 하우징(22)의 진동을 저감시키는 동흡진기(45)와, 하우징(22)이 진공 장치에 접속된 상태에서, 구동 피스톤(31)이 구동되었을 때의 하우징(22)의 진동을 저감시키기 위하여 구동 주파수를 조정하는 주파수 조정 장치를 구비한다.
냉동기와, 상기 냉동기와 진공 용기 사이에 배치되는 트랩 용기와, 상기 트랩 용기 내에 배치되어, 기체 분자를 포획하도록 상기 냉동기에 의하여 냉각되는 냉각 패널을 갖는 냉각 트랩에 있어서,상기 냉각 트랩에서의 진동을 검출하는 진동 센서를 구비하고,상기 냉동기는,하우징과,작동 가스를 압축, 팽창시키기 위하여 상기 하우징 내에서 왕복 운동 가능한 피스톤과,상기 하우징의 외측에 설치되어 있으며, 상기 피스톤이 구동되었을 때의 진동을 저감시키는 동흡진기와,상기 진동 센서로부터의 신호에 기초하여, 상기 동흡진기에 의한 진동의 저감 효과가
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