[특허]극자외선용 블랭크 마스크 및 이를 이용한 포토마스크

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/033 H01L-021/027
출원번호	10-2015-0038688 (2015-03-20)
공개번호	10-2016-0002332 (2016-01-07)
우선권정보	대한민국(KR) 1020140080676 (2014-06-30)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020150038688
발명자 / 주소	남기수 / 대구광역시 달서구 호산동로 신철 / 대구광역시 달서구 호산동로 양철규 / 대구광역시 달서구 호산동로 이종화 / 대구광역시 달서구 호산동로 최민기 / 대구광역시 달서구 호산동로 김창준 / 대구광역시 달서구 호산동로 장규진 / 대구광역시 달서구 호산동로 **
출원인 / 주소	주식회사 에스앤에스텍 / 대구광역시 달서구 호산동로 ** (호림동)
대리인 / 주소	박천수
심사청구여부	있음 (2015-03-20)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록 ▼

본 발명은 흡수막을 구성하고 있는 흡수층 및 반사방지층을 동일 식각 물질에 의해 식각되는 물질로 구성함으로써, 단 1회의 식각 공정 만으로 흡수층 및 반사방지층의 동시 식각이 가능하여 공정 중의 결함 및 이물질의 발생을 최소화 할 수 있는 극자외선용 블랭크 마스크 및 이를 이용한 포토마스크를 제조할 수 있다.또한, 본 발명은 흡수막을 구성하는 경원소의 조성비를 조절하여 요구되는 흡수막의 광학 특성을 확보함과 동시에 박막화를 구현하여 14㎚급 이하, 특히, 7㎚급 이하의 패턴 구현 시 우수한 패턴 정확도를 갖는 극자외선용 블랭크 마스

대표청구항

투명 기판 상에 적어도 다층 반사막 및 흡수막이 구비된 극자외선용 블랭크 마스크에 있어서,상기 흡수막은 적어도 2층 이상의 다층막으로 이루어지고, 상기 각 층들은 1회의 식각 공정으로 식각 가능하도록 동일한 식각 가스에 의해 식각 가능한 물질로 이루어진 극자외선용 블랭크 마스크.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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