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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0028629 (2018-03-12) | |
공개번호 | 10-2018-0103775 (2018-09-19) | |
등록번호 | 10-2018530-0000 (2019-08-30) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020170030731 (2017-03-10);대한민국(KR) 1020170159821 (2017-11-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180028629 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-06-01) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
극자외선용 노광광에 대한 투과율과 기계적 강도가 우수한 극자외선 포토마스크용 펠리클 및 그 제조방법이 개시된다.펠리클은 지지층 패턴, 지지층 패턴의 상부에 형성되는 매립 산화층 패턴, 및 매립 산화층 패턴에 의해 지지되어 구비된 펠리클층을 구비한다.펠리클은 펠리클층의 기계적 강도를 보강하는 보강층, 보강층에 대해 기계적 강도를 추가적으로 보완하는 보조층, 펠리클층의 열을 방출하는 열방출층을 추가로 구비할 수 있다.
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