$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[한국특허] 연마 조성물 및 실리콘 산화물막 상의 실리콘 질화물의 선택적 연마 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C09K-003/14
  • C09G-001/02
  • H01L-021/306
  • H01L-021/3105
출원번호 10-2015-0044959 (2015-03-31)
공개번호 10-2015-0115645 (2015-10-14)
등록번호 10-1899948-0000 (2018-09-12)
우선권정보 미국(US) 14/245,286 (2014-04-04)
DOI http://doi.org/10.8080/1020150044959
발명자 / 주소
  • 아브후다야 미쉬라 / 미국 애리조나주 ***** 이. 케스케이드 드라이브 길버트 ****
  • 룰링 왕 / 미국 애리조나주 ***** 에스. 파워 로드 아파트 #**** 메사 ****
출원인 / 주소
  • 후지필름 플레이너 솔루션스, 엘엘씨 / 미국 ***** 애리조나주 메사 사우스 마운틴 로드 ****
대리인 / 주소
  • 정홍식; 김태헌
심사청구여부 있음 (2016-10-17)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

선택적으로 실리콘 질화물(SiN) 막을 연마할 수 있고 실리콘 산화물 막 상에서 거의 종료(또는 매우 낮은 비율로 연마)할 수 있는 안정한 수성 연마 조성물이 제공된다. 조성물은 음이온 연마재, 카르복실 또는 카르복실레이트 기를 포함하는 질화물 제거율 개선제, 물, 및 선택적으로 음이온 폴리머를 포함한다. 음이온(음 대전된) 연마재와 질화물 제거율 개선제의 상승적 조합은 CMP 동안 유전체막과 이로운 전하 상호작용과 높은 SiN 비율 및 (산화물에 대한) 선택성 강화 및 안정한 콜로이드 분산된 슬러리를 제공한다.

대표청구항

연마 조성물에 있어서, a) 음이온 연마재;b) 실리콘 산화물의 제거율에 대한 실리콘 질화물의 제거율의 비를 증가시키기 위한, 카르복실산 또는 카르복실/카르복실레이트 기를 포함하는 질화물 제거율 개선제; 및c) 물;을 포함하고,상기 연마 조성물은 2 내지 6.5의 pH를 갖는 것인 연마 조성물.

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [일본] POLISHING SOLUTION AND POLISHING METHOD | KAMIMURA TETSUYA
    상세보기

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 연마액 및 화학적 기계적 연마 방법 | 카미무라 테츠야
    상세보기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로