초록 ▼

일주면을, 판 형상 시료를 재치하는 재치면으로 함과 함께 정전 흡착용 내부 전극을 내장한 정전 척부(10)와, 스페이서(22) 및 실리콘 접착제(24)를 함유하고, 층두께(D)가 3~25μm이며, 층두께(D)와 스페이서(22)의 평균 입자경(ΦS)의 비(ΦS/D)가 0.1~1.0인 제1 접착층(20)과, 제1 접착층(20)에 의하여, 정전 척부(10)의 상기 재치면과 반대측의 면에 서로 간극을 갖고 접착된 복수의 가열 부재(30)와, 실리콘 접착제를 함유하는 제2 접착층(40)과, 정전 척부(10)를 냉각하는 기능을 갖는 베이스부(

일주면을, 판 형상 시료를 재치하는 재치면으로 함과 함께 정전 흡착용 내부 전극을 내장한 정전 척부(10)와, 스페이서(22) 및 실리콘 접착제(24)를 함유하고, 층두께(D)가 3~25μm이며, 층두께(D)와 스페이서(22)의 평균 입자경(ΦS)의 비(ΦS/D)가 0.1~1.0인 제1 접착층(20)과, 제1 접착층(20)에 의하여, 정전 척부(10)의 상기 재치면과 반대측의 면에 서로 간극을 갖고 접착된 복수의 가열 부재(30)와, 실리콘 접착제를 함유하는 제2 접착층(40)과, 정전 척부(10)를 냉각하는 기능을 갖는 베이스부(60)를 이 순으로 구비함으로써, 가열 부재(30)를 정전 척부(10)에 접착하는 제1 접착층(20)의 층두께를 확보하여, 접착력 저하를 억제할 수 있고, 제1 접착층(20)과 당해 제1 접착층(20)에 인접하는 제2 접착층(40)의 접착력이 우수한 정전 척 장치를 제공한다.

대표청구항 ▼

일주면을, 판 형상 시료를 재치하는 재치면으로 함과 함께 정전 흡착용 내부 전극을 내장한 정전 척부와,스페이서 및 실리콘 접착제를 함유하고, 층두께(D)가 3~25μm이며, 상기 층두께(D)와 상기 스페이서의 평균 입자경(ΦS)의 비(ΦS/D)가 0.1~1.0인 제1 접착층과,상기 제1 접착층에 의하여, 상기 정전 척부의 상기 재치면과 반대측의 면에 서로 간극을 갖고 접착된 복수의 가열 부재와,실리콘 접착제를 함유하는 제2 접착층과,상기 정전 척부를 냉각하는 기능을 갖는 베이스부를 이 순으로 구비하고,상기 제1 접착층 중의 상기 스

일주면을, 판 형상 시료를 재치하는 재치면으로 함과 함께 정전 흡착용 내부 전극을 내장한 정전 척부와,스페이서 및 실리콘 접착제를 함유하고, 층두께(D)가 3~25μm이며, 상기 층두께(D)와 상기 스페이서의 평균 입자경(ΦS)의 비(ΦS/D)가 0.1~1.0인 제1 접착층과,상기 제1 접착층에 의하여, 상기 정전 척부의 상기 재치면과 반대측의 면에 서로 간극을 갖고 접착된 복수의 가열 부재와,실리콘 접착제를 함유하는 제2 접착층과,상기 정전 척부를 냉각하는 기능을 갖는 베이스부를 이 순으로 구비하고,상기 제1 접착층 중의 상기 스페이서 농도가 0.00003~32질량%인 정전 척 장치.