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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0080547 (2015-06-08) | |
공개번호 | 10-2016-0144144 (2016-12-16) | |
등록번호 | 10-2366909-0000 (2022-02-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150080547 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-06-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판건조용 기체를 이중으로 분사하는 제1슬릿과 제2슬릿의 간격을 기판의 건조성능을 향상시키기 위한 최적의 유량비율이 되도록 간편하게 동시에 조정할 수 있는 기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 포함하는 기판건조장치를 제공함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 기판건조용 에어나이프 모듈은, 기판의 이송방향을 따라 순차로 배치된 제1플레이트와 제2플레이트 및 제3플레이트의 조립체로 이루어진 몸체와, 상기 몸체에 기판의 이송방향을 따라 이격되며 나란하게 형성되어 기판건조용 기체를 분사하는 제1슬릿과 제2슬릿을 포함
기판의 이송방향을 따라 순차로 배치된 제1플레이트와 제2플레이트 및 제3플레이트의 조립체로 이루어진 몸체와,상기 몸체에 기판의 이송방향을 따라 이격되며 나란하게 형성되어 기판건조용 기체를 분사하는 제1슬릿과 제2슬릿을 포함하되,상기 제1슬릿은 상기 제1플레이트와 제2플레이트 사이에 형성되고, 상기 제2슬릿은 상기 제2플레이트와 제3플레이트 사이에 형성되며,상기 제2플레이트를 좌우방향으로 이동시켜 제1슬릿의 간격과 제2슬릿의 간격을 동시에 조정하는 슬릿간격 조정수단을 구비하고,상기 슬릿간격 조정수단은, 상기 제1플레이트와 제2플레이트
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