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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0115474 (2015-08-17) | |
등록번호 | 10-1579885-0000 (2015-12-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150115474 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-08-17) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 고온용 질화알루미늄 히터 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 a) AlN 기판에 발열체 회로를 인쇄하는 단계; b) 인쇄된 발열체 회로를 열처리하는 단계; c) AlN 기판에 단자부 도체 회로를 인쇄하는 단계; d) 인쇄된 단자부 도체 회로를 열처리하는 단계; e) 발열체 및 도체 회로가 열처리된 회로를 절연처리하는 단계; f) 단자부 도체 회로 표면을 가교성 금속을 이용하여 도금하는 단계; g) 가교성 금속으로 도금 처리된 단자부 도체 회로에 브레이징(brazing) 처리하여 전원부와 연결시키는 단자부 형성
a) AlN 기판에 발열체 회로를 인쇄하는 단계; b) 인쇄된 발열체 회로를 열처리하는 단계; c) AlN 기판에 단자부 도체 회로를 인쇄하는 단계; d) 인쇄된 단자부 도체 회로를 열처리하는 단계; e) 발열체 및 도체 회로가 열처리된 회로를 절연처리하는 단계;f) 단자부 도체 회로 표면을 가교성 금속을 이용하여 도금하는 단계; g) 가교성 금속으로 도금 처리된 단자부 도체 회로에 브레이징(brazing) 처리하여 전원부와 연결시키는 단자부 형성 단계; 및h) 형성된 단자부에 전력선을 연결하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징
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