초록 ▼

본 발명은 유리 기판의 박막 영역을 노출시키는 플로팅 홀을 구비하는 플로팅 마스크와, 상기 플로팅 마스크의 상부에 위치하며, 상기 플로팅 마스크의 상면에서 상기 플로팅 홀의 주위 부분을 노출시키는 마스크 홀을 구비하는 마스크 쉴드와, 상기 마스크 쉴드의 마스크 상면에서 상기 마스크 홀의 외측에 전체적으로 사각 링 형상을 이루는 소정 높이의 벽체 형상으로 형성되는 마스크 사이드 쉴드 및 상기 마스크 쉴드의 상면으로부터 소정 높이로 이격되며, 상기 유리 기판과 대향하는 스퍼터링 타겟이 결합되는 그라운드 홀을 구비하는 그라운드 쉴드를 포

본 발명은 유리 기판의 박막 영역을 노출시키는 플로팅 홀을 구비하는 플로팅 마스크와, 상기 플로팅 마스크의 상부에 위치하며, 상기 플로팅 마스크의 상면에서 상기 플로팅 홀의 주위 부분을 노출시키는 마스크 홀을 구비하는 마스크 쉴드와, 상기 마스크 쉴드의 마스크 상면에서 상기 마스크 홀의 외측에 전체적으로 사각 링 형상을 이루는 소정 높이의 벽체 형상으로 형성되는 마스크 사이드 쉴드 및 상기 마스크 쉴드의 상면으로부터 소정 높이로 이격되며, 상기 유리 기판과 대향하는 스퍼터링 타겟이 결합되는 그라운드 홀을 구비하는 그라운드 쉴드를 포함하며, 상기 플라즈마 영역에 노출되는 서로 접하는 평면들을 연결하는 연결부가 호 형상으로 형성되는 스퍼트 쉴드 모듈을 개시한다.

대표청구항 ▼

유리 기판(10)의 박막 영역을 노출시키는 플로팅 홀(110a)을 구비하는 플로팅 마스크(110)와,상기 플로팅 마스크(110)의 상부에 위치하며, 상기 플로팅 마스크(110)의 상면에서 상기 플로팅 홀(110a)의 주위 부분을 노출시키는 마스크 홀(120a)을 구비하는 마스크 쉴드(120)와,상기 마스크 쉴드(120)의 마스크 상면에서 상기 마스크 홀(120a)의 외측에 전체적으로 사각 링 형상을 이루는 소정 높이의 벽체 형상으로 형성되는 마스크 사이드 쉴드(130) 및상기 마스크 쉴드(120)의 상면으로부터 소정 높이로 이격되며

유리 기판(10)의 박막 영역을 노출시키는 플로팅 홀(110a)을 구비하는 플로팅 마스크(110)와,상기 플로팅 마스크(110)의 상부에 위치하며, 상기 플로팅 마스크(110)의 상면에서 상기 플로팅 홀(110a)의 주위 부분을 노출시키는 마스크 홀(120a)을 구비하는 마스크 쉴드(120)와,상기 마스크 쉴드(120)의 마스크 상면에서 상기 마스크 홀(120a)의 외측에 전체적으로 사각 링 형상을 이루는 소정 높이의 벽체 형상으로 형성되는 마스크 사이드 쉴드(130) 및상기 마스크 쉴드(120)의 상면으로부터 소정 높이로 이격되며, 상기 유리 기판(10)과 대향하는 스퍼터링 타겟(20)이 결합되는 그라운드 홀(140a)을 구비하는 그라운드 쉴드(140)를 포함하며,상기 플로팅 마스크(110)와 상기 마스크 쉴드(120)와 마스크 사이드 쉴드(130) 및 상기 그라운드 쉴드(140)는 플라즈마 영역에 노출되는 서로 접하는 평면들을 연결하는 연결부가 호 형상으로 형성되며,상기 연결부의 호 형상의 반지름은 상기 플라즈마 영역에 노출되는 평면들에 코팅되는 쉴드 코팅층의 두께에 비례하여 형성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치용 스퍼터 쉴드 모듈.