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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0139500 (2015-10-05) | |
공개번호 | 10-2017-0040477 (2017-04-13) | |
등록번호 | 10-2398755-0000 (2022-05-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150139500 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-06-01) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 포토레지스트 박리액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 높은 환원력을 가지는 특정 화합물에 의해 변성된 포토레지스트의 제거 속도를 향상시키고 기판 상에 잔류하는 포토레지스트 없도록 높은 박리력을 가지는 포토레지스트 박리액 조성물에 관한 것이다.
N-이소프로필 히드록실아민 또는 N-이소부틸 히드록실아민 중에서 선택되는 1종 또는 2종인 아민; 알코올 화합물; 비양자성 극성 용매; 및 알칸올 아민 화합물;을 포함하는 포토레지스트 박리액 조성물.
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