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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2017-0054245 (2017-04-27) | |
| 공개번호 | 10-2018-0120397 (2018-11-06) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020170054245 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
| 법적상태 | 거절 |
본 발명은 시클로덱스트린 또는 그 유도체를 포함하는 포토레지스트 박리액 조성물을 제공한다. 이러한 본 발명에 따르면, 포토레지스트에 대한 박리성능 및 금속배선에 대한 내부식성이 우수한 박리액 조성물을 제공할 수 있을 뿐만 아니라, 인체 및 환경에 대한 유해성이 적은 친환경적인 박리액을 제공할 수 있다.
하기 화학식 1로 표시되는 화합물과 염기성 화합물을 포함하는 포토레지스트 박리액 조성물:<화학식 1>상기 화학식 1에서, n은 6 내지 8의 정수이며, R2 및 R3는 서로 독립적으로 수소, 치환 또는 비치환된 알킬기, 술폰산기, 아실기, 치환 또는 비치환된 벤질기, 및 치환 또는 비치환된 벤조일기로 이루어진 군에서 선택되며,R1은 하기 화학식 2로 표시되며,<화학식 2>상기 화학식 2에서, m은 0 내지 2의 정수이며, X, Y, 및 Z는 서로 독립적으로 -OH 또는 -OM이고, 여기서 M은 Li, Na, 또
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