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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0154416 (2015-11-04) | |
공개번호 | 10-2017-0052788 (2017-05-15) | |
등록번호 | 10-1786207-0000 (2017-10-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150154416 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-11-04) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
접촉면적이 확장된 활성층을 포함하는 홀 센서 및 이의 제조방법이 제공된다. 구체적으로 상기 홀 센서는, 반도체 기판 상에, 제1 축 및 제2 축이 수직으로 교차된 십자 형태의 감지부 및 상기 감지부의 4개의 끝단에 위치하는 접촉부를 포함하는 구조를 갖는 활성층 및 상기 접촉부의 상부 영역의 크기 내에 배치되며, 상기 감지부의 제1 축의 끝단에 서로 대향하여 위치하는 제1 금속층 및 제2 금속층과, 상기 감지부의 제2 축의 끝단에 서로 대향하여 위치하는 제3 금속층 및 제4 금속층으로 이루어진 전극부를 포함하는 것으로, 기존의 단차
평면이 사각형상인 반도체 기판 상에 배치되되, 상기 사각형상의 꼭지점 방향으로 각각 배치되고 서로 수직으로 교차되어 십자 형태를 이루는 제1 축 및 제2 축을 포함하는 감지부 및 상기 감지부의 4개의 끝단에 위치하는 접촉부를 포함하는 구조를 갖는 활성층; 및상기 접촉부의 상부 영역의 크기 내에 배치되며, 상기 감지부의 제1 축의 끝단에 서로 대향하여 위치하는 제1 금속층 및 제2 금속층과, 상기 감지부의 제2 축의 끝단에 서로 대향하여 위치하는 제3 금속층 및 제4 금속층으로 이루어진 전극부를 포함하고,상기 제1 내지 제4금속층은
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