초록 ▼

본 발명은 표면 결함 검사 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 펠리클 프레임과 같이 내면을 구비한 검사 대상물의 내면에 부착된 파티클 등과 같은 결함을 검사할 수 있는 프레임 표면 결함 검사 장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 표면 결함 검사 장치는 검사 대상물의 내면의 영상을 획득하도록, 상기 검사 대상물과 경사지게 배치된 제1영상획득수단과, 검사 대상물의 평면부와 곡면부로 이루어진 내면과 상기 제1영상획득수단 사이의 거리가 일정하게 유지된 상태로 상기 내면이 상기 제1영상획득수단과 마주보도록 상기 검사 대상물을 상기 제1영상

본 발명은 표면 결함 검사 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 펠리클 프레임과 같이 내면을 구비한 검사 대상물의 내면에 부착된 파티클 등과 같은 결함을 검사할 수 있는 프레임 표면 결함 검사 장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 표면 결함 검사 장치는 검사 대상물의 내면의 영상을 획득하도록, 상기 검사 대상물과 경사지게 배치된 제1영상획득수단과, 검사 대상물의 평면부와 곡면부로 이루어진 내면과 상기 제1영상획득수단 사이의 거리가 일정하게 유지된 상태로 상기 내면이 상기 제1영상획득수단과 마주보도록 상기 검사 대상물을 상기 제1영상획득수단에 대해서 상대 이동시키도록 구성된 이송수단을 포함하며, 상기 제1영상획득수단은 수광소자 어레이와 상기 검사 대상물과 수광소자 어레이 사이에 배치되는 렌즈를 구비하며, 상기 수광소자 어레이는 상기 수광 소자 어레이의 중심축이 상기 렌즈의 중심축과 일정한 각도로 경사지도록 배치된다.본 발명에 따른 표면 결함 검사 장치는 라운드 진 모서리 내면의 검사 시에도 검사 대상물의 내면과 영상획득수단 사이의 거리가 일정하게 유지되고, 내면이 영상획득수단과 마주본 상태에서 검사 대상물의 내면의 영상을 확보할 수 있다.따라서 라운드 진 모서리 내면의 결함도 정밀하게 검사할 수 있다는 장점이 있다.

대표청구항 ▼

검사 대상물의 내면의 영상을 획득하도록, 상기 검사 대상물과 경사지게 배치된 제1영상획득수단과,검사 대상물의, 평면부와 곡면부로 이루어진 내면과 상기 제1영상획득수단 사이의 거리가 일정하게 유지된 상태로 상기 내면이 상기 제1영상획득수단과 마주보도록 상기 검사 대상물을 상기 제1영상획득수단에 대해서 상대 이동시키도록 구성된 이송수단과,상기 검사 대상물의 평면 형상(A) 정보를 획득하도록 구성된 형상정보획득수단과,상기 형상정보획득수단에서 획득된 검사 대상물의 평면 형상(A)과 표준 검사 대상물의 평면 형상(B) 사이의 오프셋 값(x)

검사 대상물의 내면의 영상을 획득하도록, 상기 검사 대상물과 경사지게 배치된 제1영상획득수단과,검사 대상물의, 평면부와 곡면부로 이루어진 내면과 상기 제1영상획득수단 사이의 거리가 일정하게 유지된 상태로 상기 내면이 상기 제1영상획득수단과 마주보도록 상기 검사 대상물을 상기 제1영상획득수단에 대해서 상대 이동시키도록 구성된 이송수단과,상기 검사 대상물의 평면 형상(A) 정보를 획득하도록 구성된 형상정보획득수단과,상기 형상정보획득수단에서 획득된 검사 대상물의 평면 형상(A)과 표준 검사 대상물의 평면 형상(B) 사이의 오프셋 값(x)을 구하도록 구성된 제어기를 포함하며,상기 제1영상획득수단은 수광소자 어레이와 상기 검사 대상물과 수광소자 어레이 사이에 배치되는 렌즈를 구비하며, 상기 수광소자 어레이는 상기 수광 소자 어레이의 중심축이 상기 렌즈의 중심축과 일정한 각도로 경사지도록 배치되며,상기 이송수단은 상기 제어기에서 구해진 오프셋 값(x)을 입력 받아, 검사 대상물의 내면과 상기 제1영상획득수단 사이의 거리를 보정함으로써 검사 대상물의 내면과 상기 제1영상획득수단 사이의 거리를 일정하게 유지하도록 구성된 표면 결함 검사 장치.