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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0172659 (2015-12-04) |
공개번호 | 10-2017-0066081 (2017-06-14) |
등록번호 | 10-2504290-0000 (2023-02-22) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150172659 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-10-21) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 수소 플라스마 어닐링 처리 준비 방법, 수소 플라스마 어닐링 처리 방법, 및 수소 플라스마 어닐링 장치에 관한 것으로서, 수소 플라스마 처리의 전단계로서 반응 챔버 내부의 절연성 부품들의 표면을 패시베이션시키는 단계를 포함하는 방법을 제공한다.이 때, 상기 패시베이션시키는 단계는, 상기 반응 챔버 내부로 질소계 처리 가스를 도입하는 단계; 및 플라스마 발생 장치를 이용하여 상기 반응 챔버 내부의 상기 질소계 처리 가스를 여기시키는 단계를 포함한다.본 발명은 절연성 부품들을 보호하고 기판의 파티클 오염을 현저히 줄일 수 있
수소 플라스마 어닐링 처리의 전단계로서 반응 챔버 내부의 절연성 부품들의 표면을 패시베이션시키는 단계를 포함하고,상기 패시베이션시키는 단계는,상기 반응 챔버 내부로 질소계 처리 가스를 도입하는 단계; 및플라스마 발생 장치를 이용하여 상기 반응 챔버 내부의 상기 질소계 처리 가스를 여기시키는 단계;를 포함하고,상기 절연성 부품들은, 챔버 하우징의 내부 측벽과 천정, 서셉터, 및 배플 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 플라스마 어닐링 처리 준비 방법.
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