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[한국특허] 알루미늄-함유 기판 연마용 슬러리 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C09G-001/02
  • C09K-003/14
  • H01L-021/304
출원번호 10-2015-0187169 (2015-12-28)
등록번호 10-1719787-0000 (2017-03-20)
DOI http://doi.org/10.8080/1020150187169
발명자 / 주소
  • 김문성 / 경상북도 경산시 대학로*길 **, ***동 ****호 (중산동, 태왕한라아파트)
  • 이종훈 / 대구광역시 수성구 동대구로**길 **, ***동 ***호 (범어동, 유림노르웨이숲아파트)
  • 박철진 / 대구광역시 수성구 달구벌대로 ****, ***동 ***호 (신매동, 효성백년가약청아파트)
  • 이석훈 / 경상북도 경산시 압량면 압독로 **-**, ***동 ****호 (압량면, 이편한세상경산신대아파트)
  • 김규수 / 경상북도 경산시 대학로*길 **, ***동 ***호 (중산동, 태왕한라아파트)
  • 박용호 / 경상북도 경산시 청운*로 **-*, ***호 (조영동, 작품하나빌라)
  • 곽나래 / 경상북도 경산시 경산로**길 **, ***동 ****호 (옥산동, 평광신화아파트)
  • 주은혜 / 대구광역시 서구 서대구로**길 **-* (비산*동)
출원인 / 주소
  • (주)에이스나노켐 / 경상북도 경산시 자인면 자인공단로 **, 자인지방산업단지
대리인 / 주소
  • 특허법인 무한
심사청구여부 있음 (2015-12-28)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 알루미늄-함유 기판 연마용 슬러리에 관한 것으로서, 본 발명의 알루미늄-함유 기판 연마용 슬러리는 콜로이달 실리카 연마입자; 산화제; 및 연마촉진제, 결함방지제, 표면개선제 및 pH 조절제로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 첨가제;를 포함한다.

대표청구항

콜로이달 실리카 연마입자; 산화제; 및연마촉진제, 결함방지제, 표면개선제 및 pH 조절제로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 첨가제;를 포함하고, 상기 콜로이달 실리카는 실리카 졸이 30 중량% 내지 45 중량%의 농도로 농축된 것이고,상기 콜로이달 실리카 연마입자는 BET 입경이 10 nm 내지 150 nm인 단일입자 또는 혼합입자를 포함하는 것인,알루미늄-함유 기판 연마용 슬러리.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 금속 함유 기판을 위한 CMP 방법 | 바카시, 로버트, 조우, 렌지
  2. [한국] 금속막의 화학 기계적 연마용 슬러리 조성물 | 한덕수, 정은일, 김석주, 박휴범
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